基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮工作台的定位噪声-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 棻棽 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻棽 暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋 暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻棽 暋 暋 暋 斈斿斻棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棻棽灢棽椃棸棿灢棸椄 基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮 工作台的定位噪声 棻灣 棽 棳 张 山 王 雷 暋 暋 棬 棳 椈 棻棶山东科技大学 电气信息系 山东 济南 棽椀棸棸棾棻 棳 棭 棽棶哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所 黑龙江 哈尔滨 棻椀棸棸棸棻 椇 棳 棳 摘要 针对已开发的精密直线气浮工作台 设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小 抗干扰能力 暎 暎 差等问题 设计的阻尼器由固定于气浮滑套下端面的阻尼片以及处于阻尼片正下方的阻尼油槽和阻尼油组成 通过实验 棳 暎 获取了阻尼器的阻尼系数 继而建立了气浮工作台机电控制模型 仿真分析了阻尼器对工作台气浮噪声和动态特性的影 椇 棳 棳 暎 棳 响规律 随着阻尼的增大 气浮工作台的稳定裕度和衰减噪声的能力增加 但动态响应速度降低 实验表明 实验结果与所 棳 棷 暏棴棻 棳 棬 棭 推导的气浮工作台特性一致 且增加阻尼系数为棽椆棾棶椃椄斘旐 旙 的阻尼器后 气浮工作台的定位噪声由椂棸旑旐 峰峰值 棬 棭棳 棳 暎 降为棽棸旑旐峰峰值 位移灵敏度为棽棸旑旐实验验证了采用此种结构的阻尼器可有效抑制精密气浮工作台定位噪声 椇 椈 椈 椈 关 键 词 气浮工作台 气浮导轨 定位噪声 阻尼器 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斝棽椃棿斣斎椃棸棾暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棻棽棶棽椃棸棿 斢旛 旘斿旙旙旈旓旑旓旀旓旙旈旚旈旓旑旈旑 旑旓旈旙斿旓旀旘斿斻旈旙旈旓旑斸旈旘斺斿斸旘旈旑 旔旔 旔 旂 旔 旂 旙旚斸斿斺斸旙斿斾旓旑斸斺斾旓旐旈旑斸旍斸旑斾 斸旙旙旈旜斿斾斸旐 斿旘 旂 旔