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台柱型底座对微盘谐振器回音壁模式影响分析 　　摘 要：文章分析台柱型底座倾角和尺寸对微盘谐振器中回音壁模式的影响。首先，确立了计算模型的结构和参数。然后，用三维有限时域差分法计算了氮化硅微盘底座倾角和微盘底座高度对回音壁模式特性的影响。仿真结果表明：台柱倾角对模式谐振波长没有影响，仅在时会降低模式Q值；底座高度较小时，引起模式谐振波长变化和Q值降低。在制备微盘谐振器时，应保证台柱形底座的倾角小，底座高度足够高。　　关键词：微盘谐振器；回音壁模式；台柱形底座；谐振波长；Q值　　中图分类号：TN256 文献标志码：A 文章编号：2095--0016-02　　Abstract： In this paper， the influence of the angle and size of the base of the column on the mode of the echo wall in the microdisk resonator is analyzed. Firstly， the structure and parameters of the calculation model are established. Then， the effects of dip angle and base height of silicon nitride microdisk on the mode characteristics of the echo wall are calculated by using the three-dimensional finite-time-domain difference method. The simulation results show that the tilting angle of the table column has no effect on the mode resonant wavelength； only when θ60°， the mode Q value will be reduced； and the lower base height will cause the mode resonant wavelength to change and the Q value to decrease. In the preparation of microdisk resonators， it is necessary to ensure that the tilting angle of the pedestal is small and the height of the base is high enough.　　Keywords： microdisk resonator； echo wall mode； truncated-cone pedestal； resonant wavelength； Q value　　1 概述　　光学微谐振器具有Q值高、模式体积小、易集成等优点，具有广泛的应用，例如可用于实现高效滤波器、高灵敏度传感器、低阈值激光器、信号延时器、太赫兹谐振器等[1]。光学微谐振器主要有微球、微环芯、微瓶、微盘等形式[1]，其中微盘谐振器容易实现片上系统，加工时可精确控制其形状和尺寸，可制作成单模腔，输出谐振谱线噪声低[2]，因而是最常用的微谐振器。　　微盘谐振器可以加工成带底座和不带底座的形式，带底座的微盘大部分悬浮在空气中，相比于不带底座的微盘，其损耗更小、束缚光能力更强[3]。底座的尺寸和形状对微盘的谐振波长和Q值等会有影响。目前已有文章研究了圆柱形底座对微盘谐振特性的影响[4]，但在采用刻蚀工艺制作微盘时，往往得到截面为梯形的台柱型底座。本文主要研究台柱型底座的倾角和尺寸对微盘中回音壁模式的影响。氮化硅是一种适合于光学集成的低成本材料，适合标准CMOS工艺，在红外及可见光波段损耗低[5]，已报道的氮化硅微盘谐振器有很高的Q值[6]。在本文中，我们用三维有限时域差分法对带有台柱形底座的氮化硅微盘中的回音壁模式进行计算，揭示台柱形底座对微盘中模式特性的影响规律。　　2 计算模型　　在微盘设计过程中，一般将底座设计为圆柱型，但在加工过程中一般得到横截面近似为梯形的台柱形底座。由于下台柱距离微盘较远，其影响可以忽略，所以可用图1所示的模型来描述微盘、底座和衬底，其中？兹角描述台柱梯形截面的倾角，？兹为0°代表底座为圆柱，？兹0°表示底座为上窄下宽的台柱，？兹60°时Q值快速降低，至？兹=80°时Q值已经下降一个数量级。?@种现象产生的原因在于当？兹角很大时，底座和微盘之间间隙很小，微盘中的谐振模式的场分布可能触及底座，使得微盘不和底座上顶接