燃烧化学沉积纳米一薄膜及晶化处理.pdf

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , , 年 月 , 文章编号 仆 一 一 燃烧化学沉积纳米 薄膜及 晶化处理 张增 志, 付 跃 文, 周有 强 中 国矿 业 大 学北 京校 区 , 北 京 摘 要 提 出了沉积纳米 陶瓷薄膜 的一种新方法 一 燃烧化学沉积法 该方法省去 了真空条 件 , 直接在空气 中沉积纳米 陶瓷薄膜 其主要特 点是将配制好 的初始液体雾化 , 让该液雾穿过 高温 火焰 流 体 初始液体在火 焰 流 中发 生化学反应 , 并形成反应火焰流 , 该反应 火焰流体 系 在火焰流 的前方基底上沉积 出纳米陶瓷薄膜 , 然后再通过热处理进行 晶化处理 , 使形成晶态 · 一 相 本文 以制备 纳米薄膜为例 , 介绍用该方法 的制备过程 , 并用 和 分析 一 了 。 纳米薄膜 的显微形貌和 结构