微纳加工中的精密工件台技术.pdfVIP

[General Information] 书名=微纳加工中的精密工件台技术 作者=刘俊标 薛虹 顾文琪著 页数=278 SS号 DX号= 出版日期=2004年12月第1版 出版社=北京工业大学出版社 书名 前言 目录 目录 第一章 绪论 第一节 精密工件台 一、工件台的定义和分类 二、精密工件台的组成和分类 三、精密工件台的用途 第二节 精密工件台技术的发展 一、精密工件台技术的发展概况 二、当前工件台达到的最高性能指标 三、国内的发展状况 第三节 本书的内容和目的 第二章 精密测量技术 第一节 概述 第二节 光栅测量技术 一、光栅位移检测原理 二、高分辨率的实现 三、光栅测量的精度分析 第三节 激光干涉仪测量技术 一、一些基本概念 二、激光干涉仪 三、双频激光干涉仪中的几项关键技术 四、测量系统 五、平面镜激光干涉仪的对准分析和测量误差分析 六、平面镜激光干涉仪的安装与调整 第三章 高速、高精度直线驱动技术 第一节 高速、高精度直线驱动技术概况 一、高速、高精度直线驱动技术 二、直线驱动技术分类 第二节 间接驱动技术 一、旋转电机 二、滚珠丝杠副 第三节 直接驱动技术 一、电磁式直线电机的直接驱动 二、压电直线电机的直接驱动 第四章 直线导向技术 第一节 概述 一、直线导轨的导向原理 二、对导轨的基本要求 第二节 常用导轨的类型及其技术特性 一、塑料（PTFE）导轨 二、滚动导轨 三、静压导轨 四、弹簧导轨 五、磁悬浮导轨 第三节 导轨对工件台的影响 一、导向精度对测量精度的影响 二、导轨类型对位移分辨率的影响 第五章 精密工件台的结构型式 第一节 平面单层式结构 一、机械式平面单层结构 二、气浮式平面单层结构 三、磁悬浮式平面单层结构 第二节 双层结构 一、机械式双层结构 二、静压式双层结构 第三节 大行程纳米级精密工件台的实现 一、“十字”型工件台结构 二、“H”型工件台结构 三、六维磁悬浮纳米级精密工件台 第六