飞秒光纤激光器及其在微细加工中的应用.PDFVIP

维普资讯 飞秒光纤激光器及其 在微细加工中的应用 ●王玉英 飞秒光纤激光器是一种主要由光纤激光器构 部件采用电弧熔接的方法，因此光学轴长期无偏移 ， 成，具有飞秒 (10 秒)区持续时间的脉冲激光器。 这种连接方法确保了光纤激光器的稳定性和可靠性。 飞秒激光器的脉宽极窄，瞬问功率极高，既使 另外 ．IMRA激光器系统外部采购的元器件都严格 平均输出功率为 lW，峰值功率也能达到千瓦级至 选用高可靠性的光通信部件 ，这也对激光器系统的 兆瓦级以上。飞秒激光器现已应用于以往纳秒脉冲 高可靠性提供了保障。 激光器或连续波激光器无法应用的各种领域。 2．3 高光束质量 1990年 ，日本爱信精机公司以IMRAAmerica 单模光纤输出的光是近乎理想的点光源，输出光 Inc。的名字在美国成立 了一家子公司， 门从事飞秒 束的圆度和强度分布较容易获得接近理想的高质量 光纤激光器的研发 、生产 、销售与应用开发工作。 输出光束。飞秒光纤激光器在用于微细加工时，聚焦 因此 “IMRA”既是美国研究法人的名字 ．又是爱信 光束很容易达到透镜 的聚焦极限，因此适于微细加 精机公司生产的激光器的商标名称，这是在美国研 工 。 究开发 、日本制造的激光器。 2．4 低功耗 本文主要介绍飞秒光纤激光器及其在微细加工 现已广泛使用的钛宝石飞秒激光振荡器的晶体 中的应用实例。 吸收波长在 530nm附近，将大功率Nd：YAG激光器 的波长转换成530nm来泵浦激光器 ，既需要大型 2 飞秒光纤激光器的优点 Nd：YAG激光器，又需要冷却器，其电能消耗很大。 2。1 小型、轻便 而光纤激光器则不需要冷却器，可以用二极管 光纤激光器在确保必要光学长度的同时，可将 激光器直接泵浦。结果表明，飞秒光纤激光器的电 光纤卷成半径约3cm的环形。与固体激光器相比， 光转换效率优于钛宝石飞秒激光器 1个数量级。 光纤激光器的体积大幅缩小。光纤形态每单位体积 3 飞秒光纤激光振荡器 的表面积大于棒状或片状晶体激光器，散热效果好， 不需要冷却器等外围装置，因此在这方面又大幅缩 虽然20世纪90年代初问世的飞秒光纤激光器 小 了激光器的体积。 的光学轴具有长期无偏移的特点，但因温度的变化 2．2 高可靠性、高稳定性 等会使偏振面光纤旋转 ，从而导致输出功率的改变， 光纤激光器是由光纤部件组装而成。这些光纤 因此需要偏振面的调整机构 ，并需要维护。 Nov．2007 L_二 维普资讯 1994年 ，Fermann等人利用新结构的被动锁模 级的脉冲峰值功率。因此 ，为将 “飞秒光 R”的千 飞秒脉冲激光振荡器实现了无调整运转。科研人员 瓦级峰值功率放大 3个数量级以上，爱信精机公司 在谐振腔的两端对置法拉第转子，以往返运转来补 开发了如下2种放大方式。 偿因环境变化所引起的偏振旋转。