薄膜实时演变分析系统.pdfVIP

第 卷第 期 ３０ ２ 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３０Ｎｏ２ 年 月 ２０００ ３ （ ） Ｍａｒ．２０００ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ  薄膜实时演变分析系统 陈艺文 陆祖宏 （东南大学物理系，南京２１００９６） （东南大学分子电子学实验室，南京２１００９６） 摘 要 建立了一套薄膜实时演变分析系统，激发金属膜的表面等离激元谱，采用 Ｋｒｅｔｓｃｈｍａｎｎ模式，通过激光扫描技术、电子检测技术和计算机技术相结合组成的薄 膜实时演变分析系统，无须配置复杂的机械运动部分，从而减少误差的来源和手工操 作，具有很高的自动化程度，实现了数据采集和处理的实时性． 关键词 表面等离激元；薄膜；实时演变分析技术 分类号 Ｏ４８４ 薄膜是通过物理方法或化学 电化学反应，以原子、分子或离子颗粒形式受控凝结于固态 ? 玻璃基片上形成的，其厚度约在数十埃至数微米之间 结构技术如 射线和电子衍射、电子 ． Ｘ 显微镜，可以产生关于粒子（原子、分子、离子颗粒或光子）与薄膜相互作用的详细信息，但这些 ［，］ 方法很大程度上是静态的，只能在某个固定的时刻产生相互作用过程的瞬时情况１２ 相对来 ． 说，动力学分析方法较少采用，并且受到严格的限制 我们建立的薄膜实时演变分析系统是利 ． 用表面等离激元共振（ ）的光学现象来监测粒子与薄膜的相互作用，这套系统利用激光进 ＳＰＲ 行入射角度的扫描，利用电耦合器件检测光强，利用微型计算机进行数据采集和处理 由于 ． ＳＰＲ技术对薄膜的厚度和折射率的变化非常灵敏，使得薄膜实时演变分析系统能实时、动态、 无损、原位地检测薄膜（包括金属膜、金属膜上的介质膜或生物分子膜）与外界相互作用的过 程 此系统在超薄膜和生物分子膜的 ． 研究领域中具有广泛的应用前景． １ 表面等离激元共振技术 金属中的表面等离激元在金属与 介质传导时就形成表面等离激元波，它 是与电子疏密状态有关的纵波 当表面 ． 等离激元沿着金属与介质的界面传导 时，它随着离开界面的深度的增加，振 ［］ ３ 动的幅度将按指数函数衰减 ，如图１ 图 金属与介质的界面处的表面等离激元波 １ 所示，早在 年 就从理论上预 １９５７ Ｒｉｃｈｅ 言了表面等离子体激元波的存在 直到 年代末，由于衰减全反射技术（ ）的引入， 和 ． ６０ ＡＴＲ Ｏｔｔｏ 收稿日期： 第一作者：男， 年生，博士，讲师 １９９９－０