聚酰亚胺电容式湿敏元件的研制.PDF

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2019-03-30 发布于天津
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聚酰亚胺电容式湿敏元件的研制.PDF

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36　4 厦门大学学报(自然科学版) Vol. 36　 No. 4 　 19977 Journal of Xiamen University ( Natural Science) Jul. 1997　 ① 周海文　吴孙桃　杨松鹤　吴荣华　陈议明 (　　 36100 ) 　, ,. 、、 ,. 　,, 　 TM 3 ,, . ,,( PI) [1, 2] , PI . ,、 ,, PI, 、、 ,,,. 1　 ,,,, PI,,,, . PI PI . ,, [3] . PI,2. 93, 80 . PI,, Looyenga[ 4] 1 1 1 3 　　　 = [ ( 2 3 - 1 3 )+ 1 3 ] X V X X X 、 1 2、 , ., XX X PI V PI PI , , , V X PI ., PI,, PI , X, X. ① 1997-02-24;　 4　　　　　　　　　　 : 　　　　　　　　　　　　　　 · · 2　 Si\ SiO2, PI, ,、 , ,、、 , 1# ～ 6# . 1# : 10 ,60μm, 60μm, 1 280 μm, 80μm ; 2# : ,21,2 040 μm,60μm, 60μm, 2 460μm, 2 120μm ; 3# : , ,26, 1 660μm,80 μm, 120μm, 80μm; 4# : ,,37 , 1 660μm,80μm,60μm, 80μm; # : , ,32, 1 660μm,80μm, 　 1　 30 ℃ 1# ～ 6# ～ % A A C RH 80μm,80μm; 6# : 32 ,3 320μm,80μm, 80μm, 　 Fig. 1　 C～ % RH relationship of A1# ～ A6# 040μm,3 400μm. sensors at 30℃ PI ,- 20( SEM). ,1. 2μm、 2. μm、 4μm PI, A、 B、 C .