电子束蒸发法制备犣狉犗2薄膜的相变模型分析.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ １０ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．１０ 　 　 年 月 ， ２００８ １０ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｏｃｔ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８１０１７２４０３ 　 电子束蒸发法制备犣狉犗２薄膜的相变模型分析 吴师岗 （山东理工大学 材料科学与工程学院，山东 淄博 ２５５０４９） 摘 要： 用电子束蒸发方法制备了纯的 薄膜和含 摩尔分数为 和 的 薄膜，即 ＺｒＯ ＹＯ ７％ １３％ ＺｒＯ 　　 　 　 ２ ２ ３ ２ 薄膜，通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型；并用 射线衍射（ ）来测定 和 ＹＳＺ Ｘ ＸＲＤ ＺｒＯ ＹＳＺ ２ 镀膜材料和薄膜的结构特征。结果表明： 镀膜材料和薄膜室温下都表现为单斜相， 镀膜材料和薄膜 ＺｒＯ２ ＹＳＺ 室温下都以立方相存在； 薄膜的损伤阈值远高于 薄膜的损伤阈值，这是因为添加 后的 材 ＹＳＺ ＺｒＯ ＹＯ ＹＳＺ ２ ２ ３ 料的相比较稳定，在蒸发过程中不会发生相变，而 ＺｒＯ２材料则发生相变，产生缺陷，缺陷在激光作用下成为吸 收中心和初始破坏点，导致 ＺｒＯ２ 薄膜的损伤阈值降低。 关键词： 薄膜； 相变模型； 缺陷； 射线衍射； 损伤阈值 ＺｒＯ Ｘ 　　 　 　 　 　 　 ２ 中图分类号： Ｏ４８４ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 高功率激光系统中所需要的薄膜除了对光学性能有一定的要求外，还要求薄膜具有较高的损伤阈值和物 　　 理化学稳定性。二氧化锆（ ）材料具有很强的抗激光损伤能力和非常宽的光谱透明范围，是光学薄膜中在 ＺｒＯ２ ［ ］ ［］ １２