美国ALICAT艾里卡特01系列质量流量控制器.pdf

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美国ALICAT艾里卡特01系列质量流量控制器

北京朗润达科贸有限公司 美国ALICAT(艾里卡特) 01系列质量流量控制器 热贴片原理 量程0-100sccm和0-1000sccm,体积小巧精致,适合系统集成,100ms快速响应时间,优于2%精度 真 传 话 电 0 0 1 1 0 0 - - 6 6 4 4 4 4 4 4 9 9 9 9 3 3 7 8 美国ALICAT 01系列质量流量控制器,采用了热帖片式原理, 性能指标 而且克服了热式对于预热时间的要求,01系列的预热时间仅需 要70ms,且保证了流量控制的稳定性和精确度。01系列质量流 介质要求:洁净、干燥、无腐蚀性气体 量控制器具备200:1的超高量程比,可以满足更多的客户流量控

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