用于纳米测量的扫描X射线干涉技术.pdf

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2019-02-05 发布于天津
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用于纳米测量的扫描X射线干涉技术

6 1 Vol. 6, No. 1 1998 2 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G February , 1998 X 王　林　　曹　芒　　李达成 ( 清华大学测试技术与仪器国家重点实验室　　北京　10008 ) X , , , X X 1 , , , ( SPM) , , , SPM , , ( 0. 10. 01nm) , , , NBS( NIST ) PTB ( 220) [ 1] , : PTB: d= 192015. 5600. 012fmNBS: d= 192015. 9020. 019fm , , NRLM 0. 02 [ 2] ( 220) 18 , 0. 1fm X , ( 596765079) : 1997- 06- 09 : 1997- 08- 21 8 6 X , X , , , 2 X X , X , ( 1 ) : a , Bragg Borrmann , X Fig . 1Rrinciple of the X-ray interferomet er , ( 1 ) , b ( S) ( M) ( A) X , , Moire , , , , , , X , , ( 220) , ( 0. 192nm) , X : Fig . 2X-ray interferomet ry X X , , 0. 1nm , , , X NaI 1 : X 9 X , , 3 X [ 3] X 1965 Bouse Hart , X 1968 , Hart [ ] 1983 , D. G. Chetwynd , 100pm, 100nm , X X , , , ,