聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析.pdf

第 48 卷 第 9 期 天津大学学报 (自然科学与工程技术版) Vol.48 No.9 2015 年 9 月 Journal of Tianjin University (Science and Technology) Sep. 2015 DOI:10.11784/tdxbz201403102 聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析 1 1 2 1 1 1 徐宗伟 ，申雪岑 ，李云涛 ，李 康 ，林 枫 ，贾瑞丽 (1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 300072 ； 2. 天津市微纳制造技术有限公司，天津 300457) 摘 要 ：聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法，利用聚焦离子束直写 加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造．然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离 子束能量分布特性的综合影响，FIB 在三维结构加工中会存在复杂形貌误差．针对 FIB 加工凹面中存在的典型平底 现象这一形貌误差进行了分析和实验研究，通过仿真分析和 FIB 加工直径 4,µm 锥形凹坑结构的实验验证，阐明了 聚焦离子束高斯能量分布特性与溅射产额规律耦合是产生平底现象的主要原因，为 FIB 三维结构加工的误差的修正 提供了重要的基础和依据． 关键词 ：聚焦离子束；微纳制造；直写加工；三维结构加工；高斯分布；溅射产额 中图分类号：TH161 文献标志码 ：A 文章编号 ：0493-2137 (2015)09-0827-07 Divergence in Focused Ion Beam Fabricating Micro Cone Structure 1 1 2 1 1 1 Xu Zongwei ，Shen Xuecen ，Li Yuntao ，Li Kang ，Lin Feng ，Jia Ruili (1. State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments，Tianjin University ， Tianjin 300072 ，China ；2. Center of MicroNano Manufacturing Technology ，Tianjin 300457 ，China) Focused ion beam (FIB)has become an important tool in micro/nano device manufacture. By FIB direct Abstract ： milling process ，micro/nano structure with complex feature could be fabricated conveniently. However ，affected by nonlinear sputter yield ，redeposition and ion does shape ，complex divergence would occur in FIB milling of 3D