纳米材料与器件的电性测量.pdf

北京美亚先科技有限公司 BEIJING MEIYAXIAN TECHNOLOGY CO. LTD 纳米材料与器件的电性测量 王 中 武 北 京 美 亚 先 科 技 有 限 公 司 纳米材料与器件除了进行微尺度与结构等研究开发，进行电性测量也是必不 可少的。 使用正确的仪器和测量技术可以缩短测试时间、提高效率并可以获得更 加客观真实的科研数据。 对纳米材料与器件的电性测量不仅可以揭示其电学特性，而且可以揭示如纳 米粒子态密度等基本特性。这些基本特性可用于预测和控制其物理特性，如拉伸 强度、色彩及导热率等。专为纳米技术研究设计的仪器仪表在测量中已成为极其 重要的科学仪器，为便于我们正确选择这些高灵敏度的仪器，及时掌握其领先的 测量技术，从而实现快速、准确的测量，本文将对表征方法、态密度测定、电性 测量方法与技术进行细致地分析。 纳米粒子的表征方法 纳米尺度的粒子（组成材料的原子及分子），遵从的规则是量子力学，与大 尺度物质的通常特性会有大不同。探索与研究只有纳米物质才具有的微观特性， 揭示其本质将会对我们更加重要。 粒子的大小和结构主要影响材料研究过程中所采用的测量技术的类型。宏观 材料可以采用光学显微镜进行观察。对于粒子尺寸小于 200 纳米的纳米材料，则 须采用扫描隧道显微镜（STM）或原子力显微镜（AFM ）进行观察。 表 1 概括 了可看作是纳米粒子、介观粒子以及宏观粒子的相对尺寸。 表1 不同类别粒子的相对尺寸。 类别 粒子尺寸 宏观粒子 300nm 介观粒子 随相位相干长度而变化 纳米粒子 0.5-200nm 原子粒子 0.5nm 当粒子尺寸减小到纳米尺寸，其物理行为将发生根本性改变。这时可采用非 可视测量方法来揭示其独特的化学性质和电学特性。对于此类测量，与通常的物 理量的有所不同，通常为极低电流或低电压信号的测量。对纳米尺度物体进行直 接电性测量，可以利用特殊的仪器如纳米探针台或纳米操纵系统来实现。 北京美亚先科技有限公司  北京市朝阳区裕民路 12 号 E1 座 321 室（100029） 8610 Fax 8610 北京美亚先科技有限公司 BEIJING MEIYAXIAN TECHNOLOGY CO. LTD 电性能测量 只要粒子实际尺寸接近材料电子的波长，就必须要考虑其量子力学效应。在 这种临界尺寸下，粒子的电子能量不能采用大尺寸材料的方法进行预测。 对于宏观尺度的粒子，电子具有分立量子能量，它们存在于能带内部，每个 能带由许多能级组成，电子可以通过它们的热能共享这些能级。当粒子尺寸减少 至纳米量级尺寸时，连续能带内允许的能量将分散成分立能级（因为其中只有极 少数原子），因为这时能级之间的间隔接近电子的热能。随着特定的能带内能级 变少，材料的状态密度也将发生变化。 状态密度是当电子通过释放能量进入到较低的能级或者吸收能量升至较高的 能级时可以选择的能态数目。状态密度、粒子尺寸以及其它纳米特性都可以通过 电气测量推断得出结果。 纳米粒子的电阻直接受能带隙和尺寸效应的影响，能带隙是指电子能带内邻 近能级间的距离，而尺寸效应与材料的平均自由程（电子在散射事件间传播的平 均距离）有关。 通常，对于非金属材料，带隙直接影响到粒子是导体、绝缘体抑 或是半导体。 图１。连接导体间的碳纳米管（CNT ）示意图。CNT 管显示了许多独特的性质，这 些性质对于研究多种电子结构和物理结构非常有用。（感谢美国国家航空和宇航局 Ames 纳米技术中心提供此图片） 碳纳米管（CNT ）就是一个例子（参见图 1）。具有代表性的是，当制作碳 纳米管时，导体形态和半导体形态都可能出现。例如，导体碳纳米管可用作场致 发射平板显示器发射极，而半导体碳纳米管可用于制作晶体管开关器件。