用于检测三次位相板的新型零位补偿器的设计.pdf

第４１卷　 第５期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４１，Ｎｏ．５ 　 ２０１１年５月　 　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｙ，２０１１ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１１）０５０５８２０４ ·光学材料与器件 · 用于检测三次位相板的新型零位补偿器的设计 １，２ ３ １，２ １，２ ３ 许英朝 ，张　鹰 ，林洪沂 ，朱文章 ，张　新 （１．厦门理工学院数理系，福建 厦门３６１０２４；２．厦门理工学院光电工程技术研究中心，福建 厦门３６１０２４； ３．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３） 摘　要：三次位相的波前编码位相板是一种非旋转对称光学元件。对于其面形及整个元件的 检测，虽然目前通用的方式还是采用轮廓仪的接触式测量，但采用非接触式的干涉测量，具有 快速、简洁、可避免待测元件的面形不受损伤等优点。非接触式的测量方法，可以采用计算全 息图进行零位补偿，但计算全息图的制作价格相对较高。我们根据三次位相波前编码板的面 形特点，得到一种新型的零位补偿方式，并给出了设计实例，并进行了实验验证，该补偿器全部 由球面镜组成，易于加工，且成本较低。 关键词：三次位相板；面形检测；零位补偿；光学设计 中图分类号：ＴＮ２５６　　　文献标识码：Ａ Ｎｅｗｄｅｓｉｇｎｏｆｎｕｌｌｌｅｎｓｔｏｔｅｓｔｃｕｂｉｃｐｈａｓｅｐｌａｔｅ １，２ ３ １，２ １，２ ３ ＸＵＹｉｎｇｃｈａｏ ，ＺＨＡＮＧＹｉｎｇ，ＬＩＮＨｏｎｇｙｉ ，ＺＨＵＷｅｎｚｈａｎｇ ，ＺＨＡＮＧＸｉｎ （１．ＭａｔｈｅｍａｔｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ，ＸｉａｍｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｘｉａｍｅｎ３６１０２４，Ｃｈｉｎａ； ２．ＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒ，ＸｉａｍｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｘｉａｍｅｎ３６１０２４，Ｃｈｉｎａ； ３．ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｉｓｃｕｂｉｃｗａｖｅｆｒｏｎｔｃｏｄｉｎｇｐｈａｓｅｐｌａｔｅｉｓａｎａｓｙｍｍｅｔｒｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅ．Ｕｐｔｏｎｏｗ，ｉｔｓｍａｉｎｔｅｓｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｉｎ ｔｈｅｉｎｄｕｓｔｒｙｉｓｕｓｉｎｇｔｈｅｃｏｎｔａｃｔｐｒｏｆｉｌｅｒ．Ｂｕｔｎｏｎｃｏｎｔａｃｔｔｅｓｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｈａｓｍｏｒｅｖｉｒｔｕｅｓ，ｆｏｒｅｘａｍｐｌｅ，ｓｉｍｐｌｅ，ｓｗｉｆｔ， ｕｎｈａｒｍｆｕｌｔｏｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｕｎｄｅｒｔｅｓｔ．Ｎｏｎｃｏｎｔａｃｔｔｅｓｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｃａｎｕｓｅｃｏｍｐｕｔｅｒｇｅｎｅｒａｔｅｄｈｏｌｏｇｒａｍ（ＣＧＨ）ａｓｎｕｌｌ ｌｅｎｓ，ｂｕｔｔｈｅＣＧＨｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｃｏｓｔｉｓｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅｌｙｅｘｐｅｎｓｉｖｅ．Ｗｅｇａｖｅａｎｅｗｍａｎｎｅｒｏｆｎｕｌｌｌｅｎｓｔｏｔｅｓｔｔｈｅｃｕｂｉｃ ｓｕｒｆａｃｅａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｏｆｔｈｅｃｕｂｉｃｗａｖｅｆｒｏｎｔｃｏｄｉｎｇｐｈａｓｅｐｌａｔｅ．Ｗｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄａｄｅｓｉｇｎｏｆｔｈｅ ｎｕｌｌｌｅｎｓａｎｄｍａｄｅｓｏｍｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ．Ｔｈｅｎｕｌｌｌｅｎｓｃｏｎｓｉｓｔｓｏｆｔｗｏｓｐｈｅｒｉｃａｌｌｅｎｓｅｓｗｈｉｃｈａｒｅｅａｓｙｔ