陶瓷传感器概述.PDF

陶瓷传感器概述　 由于材料科学的发展，一系列无机非金属材料被用来制造传感器，因为它们的一些性质，例 如耐高温性、抗腐蚀能力、耐磨损等，对传感器具有实用价值。 传感器选用陶瓷材料是因为陶瓷材料具有下述性质：　 　 相对而言，通过控制它的成分和烧结条件等手段，陶瓷的微观结构比较容易调节。微观 结构对陶瓷的所有特性都有重大影响，包括它们的电学、磁性、光学、热学和机械性能。　 　 由于陶瓷材料的耐高温和抗恶劣环境影响能力很强，所以常常将它们用于高温环境下的 处理过程。　 　 陶瓷主要是由价格便宜的材料制备而成的，这就是说用它生产的传感器价格也将比较低 廉。　 陶瓷的结构特性是和下列因素密切相关的：晶粒(块体) ，分隔相邻晶粒的表面(晶粒间界) ， 分隔晶粒表面和空间的界面，以及结构中的孔隙。由于这些各不相同的特性，既可利用陶瓷 块体，也可利用陶瓷表面的性质来制造传感器。　 目前已用于传感器制备的陶瓷材料有以下几类：　 　 基于利用其晶粒物理特性的材料。　 　 基于利用其晶粒间界性质的材料。　 　 基于利用其表面特性的陶瓷材料。　 有时，无法严格地将某些陶瓷材料归入任何上述类型，因为传感器的工作是基于不止一种的、 而是多种特性的综合效应。表 1.4 示出了按照所利用的材料属性进行的陶瓷传感器分类。一 类是在其工作过程中利用陶瓷块体性质的陶瓷传感器，这类传感器具有材料物理性质的特征 ——介质，压电体，磁性或半导体。在这些传感器中已经达到的材料特性水准已接近单晶材 料所具有的特性水准。 表 1.4 按所利用的材料属性的陶瓷传感器分类 所利用的属性 一般应用 功能特性 热敏传感器 负温度系数（NTC ）热敏电阻 氧气传感器 固体电介质 块体性质 氧气传感器 半导体 压力敏传感器 压电效应 红外线传感器 热电效应 超声波传感器 压电效应 电容式热敏传感器 铁磁体 临界温度传感器 半导体 晶粒间界特性 热敏传感器 正温度系数（PTC ）热敏电阻 气敏传感器 半导体 压力敏传感器 半导体 表面特性性 湿敏传感器 热敏传感器，实际上它是利用半导体、绝缘体、铁磁体等的参数与温度之间的依从关系。红 外线探测器应用的是热电效应，而超声波传感器则是利用压电效应。　 晶粒间界的特性被用来制备正温度系数(PTC)的热敏电阻，它的阻抗随着温度变化而激烈改 变。　 在高孔隙度陶瓷中，水蒸汽和气体通过开口孔扩散，然后吸附在晶体表面，取决于吸附水汽 和气体的数量或品种，许多半导体型陶瓷的电导率会发生不同程度的变化。　 具有铁电体、压电体和热电体性质的陶瓷材料广泛地用于力和压力敏传感器、超声波和红外 线传感器。　 陶瓷所具有的固有性质，以及其块体、晶粒间界、表面上和孔隙等的结构特性，对各种传感 器来说都是合适的材料。表 1.5 给出了陶瓷传感器的类型，以及它所利用的效应和材料。 除了表 1.5 中所列的传感器外，还开发了许多多功能传感器，例如热敏和气敏，热敏、气敏 和湿敏，热敏和湿敏等多功能相结合的传感器。它们不仅利用了陶瓷的表面和晶粒间界的物 理性质，同时也利用了它的晶体晶粒特性。　 表 1.5 陶瓷传感器及其应用的效