铁电材料的纳米尺度压电响应力显微术研究进展.pdf

、 第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文 章编号 一 一 一 铁 电材料 的纳米尺 度压 电响应 力显微术研 究进 展 余寒 峰, 曾华荣, 初 瑞 清, 李 国荣, 殷 庆 瑞 中 国科 学 院 土 海 硅 酸 盐 研 究 所 高性 能 淘 瓷 与 超 微 结 构 国 家重 点 实 验 室 , 土 海 摘 要 压 电响应力显微术是在原 子 力显微镜 的基础 上 , 利 用材料 自身逆压 电效应来探测 样 品表 面形变 的一类技术总称 现 已作为铁 电材料研 究的重要手段 , 应用于纳米尺度 畴结构 的三 、 、 、 维成像 、 畴结构 的动态研 究 畴结构控制和微 区压 电 铁 电 漏 电等物理性 能表征等领域 本 文就近年来利用 压 电响应力显微术对铁 电材料 的研 究方面 作一综述 关 键 词 压 电响应 力显微术 纳米尺度 铁 电畴 微 区性 能 中图分类 号 文献 标识码 引言 铁 电材 料是一种 重要 的功 能材 料 , 已在 微 电子 、 光 电子 和 微机 电系 统等领 域 内得 到 了