较浅压入下针尖曲率半径对纳米压入硬度影响研究-计量学报.PDFVIP

第３８卷　第６期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３８，№６ ２０１７年　１１月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｎｏｖｅｍｂｅｒ，２０１７ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１７．０６．１２ 较浅压入下针尖曲率半径对 纳米压入硬度影响研究 １ ２ ３ １ 李晓兵 ，　陶兴付 ，　杨　浩 ，　贺志勇 （１．太原理工大学 表面工程研究所，山西 太原０３００２４； ２．中国计量科学研究院，北京 １０００２９； ３．安徽工业大学，安徽 马鞍山２４３０００） 摘要：基于３种不同曲率半径压头针尖对熔融石英进行纳米压入，用原子力显微镜（ＡＦＭ）直接法测得压头针 尖的面积函数及针尖曲率半径。研究表明，在极浅压入条件下，压头曲率半径的变化会导致硬度值的测量误差，曲 率半径越小的压头针尖随接触深度的变化会更快得到真实值；相同的压入深度，曲率半径小的压头针尖测得的压 入硬度值比曲率半径大的测得的压入硬度值更接近其真实值。 关键词：计量学；纳米压入；原子力显微镜；曲率半径 中图分类号：ＴＢ９３５　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１７）０６０７１３０４ ＳｔｕｄｙｏｎＤｉｆｆｅｒｅｎｔＣｕｒｖａｔｕｒｅＲａｄｉｕｓＴｉｐｓｏｎ ｔｈｅＮａｎｏＩｎｄｅｎｔａｔｉｏｎＨａｒｄｎｅｓｓａｔＳｕｐｅｒＬｏｗＤｅｐｔｈ １ ２ ３ １ ＬＩＸｉａｏｂｉｎｇ，　ＴＡＯＸｉｎｇｆｕ，　ＹＡＮＧＨａｏ，　ＨＥＺｈｉｙｏｎｇ （１．ＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＳｕｒｆａｃｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＴａｉｙｕａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｔａｉｙｕａｎ，Ｓｈａｎｘｉ０３００２４，Ｃｈｉｎａ； ２．ＮａｔｉｏｎａＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ； ３．ＡｎｈｕｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｍａａｎｓｈａｎ，Ａｎｈｕｉ２４３０００，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｎａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｔｈａｔｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｗｉｔｈｔｈｒｅｅｄｉｆｆｅｒｅｎｔｃｕｒｖａｔｕｒｅｒａｄｉｕｓｔｉｐｓｏｎｆｕｓｅｄｓｉｌｉｃａ． ＴｈｅｃｕｒｖａｔｕｒｅｒａｄｉｕｓａｎｄｔｈｅａｒｅａｆｕｎｃｔｉｏｎｏｆｔｈｅｔｉｐｓｉｓｍｅａｓｕｒｅｄｄｉｒｅｃｔｌｙｂｙｔｈｅＡＦＭｍｅｔｈｏｄ．Ｉｎｓｈａｌｌｏｗｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ，ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｓｏｆｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎｈａｒｄｎｅｓｓｗｏｕｌｄｂｅａｆｆｅｃｔｅｄｂｙｔｈｅｖａｒｉａｔｉｏｎｏｆｃｕｒｖａｔｕｒｅｒａｄｉｕｓｏｆｔｉｐ．Ｔｈｅ ｓｍａｌｌｅｒｔｈｅｃｕｒｖａｔｕｒｅｒａｄｉｕｓｏｆｔｈｅｔｉｐ，ｔｈｅｆａｓｔｅｒｏｂｔａｉｎｅｄｏｆｔｈｅｔｒｕｅｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎｈａｒｄｎｅｓｓａｓｔｈｅｉｎｃｒｅａｓｅｏｆｃｏｎｔａｃｔｄｅｐｔｈ． Ａｓｔｈｅｓａｍｅｓｍａｌｌｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎｄｅｐｔｈ，ｔｈｅｔｅｓｔｅｄｈａｒｄｎｅｓｓｉｓｃｌｏｓｅｒｔｏｉｔｓｔｒｕｅｖａｌｕｅｕｎｄｅｒａｓｍａｌｌｅｒｃｕｒｖａｔｕｒｅｒａｄｉｕｓｔｉｐｔｈａｎ ｔｈａｔｏｆｌａｒｇｅｒｏｎｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ；ｎａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ；ＡＦＭ；