浮选法回收碳化矽之研究-工业废弃物清理与资源化资讯网.PDF

( ) 工業污染防治　第139 期 May 2017 63 廢棄 物類 浮選法回收碳化矽之研究 李珣琦 * 、陳偉聖 ** 摘　　　要 切削矽泥是在晶圓切割過程中所產生的廢棄物 ，其組成可分為切削油(D E G 、 PG 、PEG)及矽泥(碳化矽 、矽及金屬物質) 。目前處理方式大多是以掩埋或焚燒為主 。 如果能回收並再利用矽泥中的碳化矽及矽 ，就能達成資源循環再利用的目的 。 本研究主要是利用浮選法回收高純度碳化矽 ，在浮選過程中 ，探討藥劑的添加 ， 是否會影響回收品位 、回收率 、藥劑使用量及浮選時間 。本研究先探討礦粒自浮性的 浮選結果 ，再探討加入藥劑後品位 、回收率 、藥劑使用量及浮選時間對於浮選的影 響 。 由本研究的浮選結果可以看出 ，碳化矽的品位都可達 98% 以上 ，回收率分析結 果極為相近 ，藥劑使用量減少 34% ，浮選時間可以減少 30% 。 【關鍵字】浮選法 、矽泥分選 、碳化矽回收 * 國立成功大學資源工程學系 　博士生 ** 國立成功大學資源工程學系 　助理教授 64 浮選法回收碳化矽之研究 一、前言 半導體晶圓製程中 ，會造成很多的研磨漿液 ，而研磨漿液就是所謂的切削矽泥 。 切削矽泥目前的處理方式 ，大多是以焚燒或掩埋為主 ，因此常常會造成環境影響 。台 灣目前每季約有 5,000~6,000 公噸的切削矽泥產生(環保署, 20 13) ，切削矽泥主要的成 分 ，液體為切削油(主要成分為 PEG 、DEG 或 PG) ，固體部分為矽泥(Surek , 2005)(主 要成分為碳化矽 、矽與鐵等組成) 。由於矽泥中有很多的碳化矽及矽 ，如果可以有效地 回收碳化矽及矽 ，除了可以減少環境影響 ，更可以讓資源循環再利用 。 圖1 切削矽泥產生量( 本研究彙整) 矽泥的分選方法中 ，李韋皞(20 12)與 Hsu 等人(20 13)利用濕式渦錐進行矽晶切削 矽泥分選之研究 ，由於碳化矽及矽的比重不同藉由濕式渦錐的離心加速達到分選的結 果 。在研究中 ，先以串連濕式渦錐得到最佳的參數 。再將濕式渦錐以循環式濕式渦錐 進行分選 ，不但能使中間產物再循環 ，也可提高碳化矽品位 。由實驗結果得知 ，底流 出口產物可使碳化矽品位 95% ，回收率為 93% 。如果再將底流產物再經過攪拌及沉 ( ) 工業污染防治　第139 期 May 2017 65 降 ，碳化矽品位可達 98% ，且碳化矽回收率為 73% 。黃伯涵(2007)利用電泳法及重力 法來分離碳化及矽 ，利用對矽泥加入電壓 ，碳化矽及矽在重力場及電場不同的重力及 牽引力之特性 ，將碳化矽及矽分離 。利用此方法可以回收矽泥含量由 2 5wt % 提升至 80wt% 。Sergii A(20 14)利用磁選 、渦錐及沉降分離廢矽泥 ，先利用磁選將廢矽泥中的 金屬粒子移除 ，再使用渦錐利用比重差異分選碳化矽及矽 ，最後再利用沉降法回收底 部的碳化矽 。由分離結果得知 ，回收的碳化矽品位為95% 。 Suning Lin (20 13)利用離心法及顆粒表面靜電力來分離廢矽泥 ，研究中先將矽泥 放入離心管將礦漿調整成中性 ，調整成使顆粒表面的靜電力成為互斥 ，再利用離心法 將碳化矽及矽分離 。經分離之後 ，回收的碳化矽品位為 95.2% 。Shib ata(2006)利用不 同的陽離子型界面活性劑於浮選法中來分離碳化矽及矽 ，在 Shib ata 方法中 ，首先將 矽成分利用高溫的方式氧化成二氧化矽 ，考量在 pH 值 、界面活性劑種類 、浮選時間