用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计.PDF

激光与光电子学进展 , ( ) « » ５３ ０９０９０１２０１６ C２０１６ 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 高松涛 武东城 于长淞 　 　 , 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心 吉林 长春 １３００３３ , ( ) 摘要 目前 高数值孔径 投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复 　 NA , , . 杂度 但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题 也是限制高 NA投影光刻物镜制造的关键因素 , , ( ) 为了解决这一难题 针对高 NA投影光刻物镜中的一偶次高次非球面 论述了计算全息图 CGH 相位与空间频率 , ; , 的关系 以及相位与空间频率的计算方法 采用点光源照明模式 详细分析了CGH设计时的关键参数的选择方法 ; , , 和避免 CGH非工作衍射级次的干扰的方法 采用所选定的设计参数 加工制作了CGH 并用此 CGH完成了对非 . , ( ) . 球面的高精度检测 经过多轮加工检测迭代 最终非球面的收敛精度的均方根 RMS达到了０．４６nm ; ; ; ; ; 关键词 测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 　 中图分类号　O４３６．１　　　文献标识码　A : / doi１０．３７８８LOP５３．０９０９０１ Com uterＧGeneratedHoloramDesinforHihＧPrecision p g g g AshericalSurfaceTestin p g GaoSontao　WuDonchen　YuChanson g g g g g ResearchCenteroExtremePrecisionOtics StateKe Laborator oA liedOtics ChanchunInstituteoOtics f p y y f pp p g f p FineMechanicsandPhsics ChineseAcadem oSciences Chanchun Ji