碳纳米管液面排布转移技术———一种新型纳米器件-上海交通大学.PDF

第 卷 第 期 电 子 显 微 学 报 ， 22 3 VOl-22 NO.3 年 月 2003 6 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 2003-6 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） 1000-6281 2003 03-0223-03 碳纳米管液面排布转移技术 ———一种新型纳米器件加工手段 ， 1 2 1 1 1 赵 猛 ，刘丽月 ，张亚非 ，徐 东 （上海交通大学微纳米科学技术研究院，上海 ； 1 200030 2 兰州大学物理科学与技术学院，甘肃 兰州730000） 摘 要：采用高温电弧法和气相CVD 法制备了单壁和多壁碳纳米管，对其进行气相提纯、化学处理和端口高分子 修饰后，溶于有机溶剂形成稳定的溶液。随后在水溶液表面依照分子与碳纳米管之间的力学作用平衡机制，形成 取向平行排列的碳纳米管单分子层造型，然后被原样转移沉积到经预先处理过的基片表面，形成碳纳米管的均匀 排布结构层。利用这种方法，每次转移的碳管数量一定，因此可以通过一层层的沉积来控制做多层结构。 关键词：碳纳米管；液面转移；可控排布 中图分类号： ； ； 文献标识码： TB383 O484 TN16 A 由于碳纳米管具有许多奇异的结构、机械和电 过程中，阳极作为碳源不断消耗，同时富含单壁和多 学性质，因此它的制备和性能测试是目前研究的热 壁碳纳米管的烟灰分别聚集在反应器壁和阴极顶 点。在材料制备方面，原有工艺不断完善，并出现了 部。 大量新方法，制备工艺已趋于成熟；并可对材料进行 采用 法制备碳管时，以 为催化剂，将其 CVD Fe ［］ 提纯、筛选等一系列加工工艺，以获得高纯、优质的 淀积在硅基底3 上形成一定厚度作为生长碳纳米管 碳纳米管。另一方面，大量、廉价的碳纳米管的获得 的衬底；以 为碳源， 为携带气体（ 的含量 CH4 H2 CH4 为应用打下了坚实的物质基础，人们开始探索碳纳 为20% 35% ），混合气体的流量为 100SCCM；反应 米管的各种潜在应用，利用碳纳米管成功地制出了 在850C的温度下进行。 ［］ 1 场发射器件 。但作为重要的中间环节，如何将提 1.2 碳管的提纯、溶液化和基片处理 纯后的高质量碳纳米管可控排布在特定基片上以形 利用富含单壁碳管的烟灰为原料，提纯和溶液 ［］ 成纳米器件仍是一个难点。 4 化按文献 的方法进行