中国机械工程学会第二十六届全国学术研讨会论文格式-台大机械系.docVIP

科技部工程司106年度機械固力、熱流、能源學門聯合成果發表會報告輯 國立勤益科技大學 台中市 中華民國一百零六年十二月一、二日 科技部專題研究計畫期中/成果報告 用於可攜帶式電子元件的高效能磁性電池/電容研發 學門歸屬 ： 能源學門 計畫編號 ： MOST 103-2221-E-002 -215 -MY3 執行期限 ： 103年8月1日至105年7月31日 執行機關 ： 台灣大學機械工程學系 主持人 ： 廖洺漢 Email ： mhliaoa@ntu.edu.tw 研究人員 ： 楊辰、黃崧芥、黃仕宇、劉倡宜、羅立翔 摘要 本論文中利用磁控濺鍍沉積技術(Magnetron sputtering deposition)製備序化之鐵鉑合金薄膜以及鈦酸鋇複合薄膜。在鈦酸鋇的研究中，本論文除了利用AFM建立厚度與晶相之關係，也在鈦酸鋇複合層中利用不同的後退火參數經由FESEM與XRD來建立晶粒大小與成相之間的關係，成功建立退火溫度與晶體成相之間的關係，並透過LCR mater與XRD的量測確認在鈦酸鋇沉積厚度550nm後進行後退火850oC 1小時可使晶體轉為四方體晶相。在鐵白金薄膜研究的部分，也找出最佳的MgO底層製備參數，成功利用蒸鍍沉積MgO厚度5nm提升鐵白金薄膜自發性磁矩，並比原本濺鍍沉積的MgO底層更省時，並在此底層上進行加入