金属蒸气真空弧离子源Co离子注入对不锈钢摩擦磨损-摩擦学学报.PDFVIP

第 23 卷　第 6 期 摩 擦 学 学 报 23, 　 6 V o l N o 2003 年 11 月 TR IBOL O GY N ov , 2003 金属蒸气真空弧离子源Co 离子注入对不锈钢 摩擦磨损性能的影响 1 1 1 2 2 郭军霞 , 蔡　　 , 陈秋龙 , 张亚梁 , 时建中 ( 1. 上海交通大学 教育部高温材料与测试重点实验室, 上海　200030; 2. 上海恒久实业工具有限公司, 上海　20 1203) 摘要: 采用金属蒸气真空弧离子源对 1 18 9 不锈钢进行 离子注入, 考察了注入处理试样的摩擦磨损性能. 结 C r N i T i Co 果表明: Co 注入处理样品的表面硬度比未注入样品的高 1. 0～ 1. 5 倍, 且硬度随离子束流密度的增大而增大; Co 注入 处理试样的摩擦系数显著降低至约 0. 20, 磨损体积损失降低 25%～ 45% ; 当束流密度为 22 2、注入剂量为 5 × A cm 1017 2 时, 注入处理样品的摩擦系数为 0. 19, 耐磨寿命最长; 在所选定的试验参数范围以内, 当临界束流密度处于 cm 22 2 时, 保留剂量最大, 改性表面硬度最高, 耐磨性能最佳. A cm 关键词: 不锈钢; 金属蒸气真空弧( ) ; 钴; 离子注入; 摩擦磨损性能 M evva 中图分类号: T G 174. 444; TH 117. 3 文献标识码: A 文章编号: (2003) 　　离子注入是通过在基体中引入非平衡的高浓度 子的平均电荷态为 1. 7[ 12 ] , 故引出离子的平均能量为 合金化元素, 使材料次表层的成分、硬度和微观结构 68 k eV , 离子能量的展宽有利于注入深度分布的宽 发生变化, 进而改善耐磨性、耐腐蚀性和抗氧化性等. 化; 所采用的注入离子束流密度分别为 13 2、 A cm 金属蒸气真空弧( , 以下简 22 2、32 2 , 注入剂量为 3 ×1017 2 和 M eta l vap o r vacuum arc A cm A cm cm 称为 ) 离子源具有许多突出优点, 如能够产生 17 2 M evva 5 ×10 .