光学精密检测技术第八讲.pptxVIP

;;波片琼斯矩阵;波片琼斯矩阵;波片琼斯矩阵;偏振片琼斯矩阵;90;偏振调制——4D动态干涉仪;A;动态干涉测量——空间移相干涉仪;ESDI斐索干涉仪; ↓气流对干涉图的影响;影响测量结果的外界因素;振动可能由很多原因产生：支撑不够刚性的地板、声波、其它设备(风扇、空调或远处的车床、马路上的汽车等)、人的活动等等。振动是最难控制的环境问题。 理论上，最好是将仪器放在一块混凝土浇注的地基上使用，这样会大大衰减大幅的振动。小幅的振动，例如由人员活动造成的震动，可以通过防震系统隔离。 环境震动对干涉仪的影响，在于它在两相干波面之间引入了随机的位相变化，主要表现为干涉条纹出现抖动现象，从而造成条纹模糊。; 从下图可以看出，将干涉图调到三根条纹(下图左)，当没有环境震动时，测得的波面是连续光滑的(下图中)；当引入环境震动时，测得的波面中出现与干涉条纹方向一致的波动，且波动的频率正好是干涉条纹频率的2倍(下图右)。如果将干涉图尽量调整到零条纹时，则波面将不出现波动。所以，为了抑制环境震动的影响，在移相干涉测量时，应尽量将干涉图调整到零条纹再进行测量。; 减振一般可以使用气垫光学平台，另外还有多种方法:地基隔离减震、橡胶剪切减震脚、软垫与大理石联合减震、干涉腔刚性固化减震等都可以使用，如右图。根据不同的环境条件可以使用其中一种或两种以上组合。 ; 距离干涉测量; 距离干涉测量; 双频激光光源;移频器的基频：20M-200M;光电院研制出高性能低差频声光移频器，各项技术指标远优于现有技术水平，能够满足各类全视场外差探测需求。;;重复测量精度RMS: 2λ/10000;重复测量精度;动态干涉仪;直流测量系统，具有直流光平和电平零漂的弊端。 ;基本光路;原理框图;数据分析;数据分析;从激光干涉仪的技术发展看，目前国外激光干涉仪产品主要有三种形式： 1、基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪：以Agilent、Exell等公司的产品为代表，属于交流干涉系统。由于受到模牵引效应的影响，这种系统的测量速度受到限制，最大测量速度为：1000mm/s。 2、基于 Bragg效应的声光??制式双频激光干涉仪：以Zygo、Optodyne公司的产品为代表，采用声光调制原理产生两个激光频率构成交流干涉系统。由于可以得到较高的激光频率差，因此可以提高系统的测量速度，最高测量速度可以达到：1800mm/s。 3、单频激光干涉仪：以Renishow、API等公司的产品为代表，单频激光干涉仪的测量速度取决于电子器件的性能，目前最高测量速度可以达到：4000mm/s（采用专用电子器件）。;1971年美国HP公司推出的基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪，具有极大的系统增益，在此后的十多年中，几乎垄断了市场。 从上世纪七十年代初期开始，国内相继有十几个单位研制双频激光干涉仪，但是由于各种原因，特别是激光器的寿命过短，都难以形成产品，有些大学主要作为科研项目进行研究，大多数单位都逐渐放弃了产品开发 目前，比较成功的是成都工具研究所成功地将产品推向市场，清华大学在接收处理电路方面做得比较好。;HP（Agilent）公司干涉仪 ;ZYGO公司干涉仪;测量时靶镜或者干涉仪置于被测体上，当被测体移动时产生干涉，由激光干涉仪的电器部分记录下位移值，即为长度测量。;激光头的出射光由角度干涉仪分为f1和f2两束，分别射向角度反射镜中的两个靶镜，当角度干涉仪或角度反射镜发生偏摆角θ时，f1和f2两束光产生相位差，可以计算旋转角度值:;来自激光头的激光在乌拉斯顿棱镜上以θ角分离为f1和f2，它们分别射向双平面反射镜，当双平面反射镜发生从位置①位移到位置②时，两束光产生符号相反的相移，可以计算出双平面反射镜的横向位移量:;从应用角度看，近二十年来，激光干涉仪产品明显向两个方向发展： ◆一是面向大规模集成电路、平面显示器、微观结构研究等领域的激光传感器系统，要求分辨率高、速度快、精度高，并且可以提供反馈信号。典型产品有Agilent公司的5517/5527系列、Zygo公司的ZMI系列、Piezosystem jena 公司的sios系列，最高分辨率0.15nm、速度2550mm/s（Zygo公司的4000处理板）； ◆二是面向数控机床及普通应用，这种系统也称工业用激光干涉仪，要求体积小、速度快、测量距离大，典型产品有Agilent的5529/5530、Renishaw公司的ML-10/XL-80、Excel公司的1100A/1100B、Optodyne的MCV系列、API公司的XD系列、成都工具研究所有限公司的MJS系列等。 ; 用于一般工业计量的激光干涉仪基本功能包括长度、角度、直线度