压电驱动微位移工作台动态特性分析-光学精密工程.PDF

下载文档

1
0
约9.33千字
约 4页
2019-03-23 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

压电驱动微位移工作台动态特性分析-光学精密工程.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

压电驱动微位移工作台动态特性分析-光学精密工程

8 5 Vol. 8, No. 5 2 0 0 0 1 0 OP T ICS A N D PR ECI SION EN GI NEER IN G Oct . , 2 000 1004-924X( 2000) 05-0440-04 贾宏光, 吴一辉, 于振雷, 王立鼎 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130021) : , , , , - , : 压电陶瓷; 微位移工作台; 动态特性分析 : T M 384: A 1　引　　言 , , , , , 2　压电元件的传递特性 , , 2 R ; Cp ; L p , , Mp / ( kp Cp ) , M p kp , , , F ig . 1 T he mo del of the mic o po sitio ning sy st em d iv en by PZ T actuato . T he g uide mecha- nism and t he sp ing can be co mbined into a single mechanism - the flexu e hig e mecha- nism 1 , F ig . 2 T he model of a P ZT actuato wo king in low f equency : 2000-06-05; : 2000-07-06 5 , : 441 , : f i ( t) f o ( t ) , : Uo ( s) 1 : G1 ( s) = = 2 ( 1) Ui ( s) L p Cp s + R Cp s + 1 2