基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棸 暋 棻 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻 暋 暋 暋 斒斸旑棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸棻灢棸棻棸棽灢棸椃 基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计 棻灣 棻 棽 棽 棳 棳 棳 高仁璟 赵 剑 李 雪 唐祯安 暋 暋 棬 棳 大连理工大学汽车工程学院 辽宁大连 棻棶 棻棻椂棸棽棿 棳 棭 大连理工大学电气工程学院 辽宁大连 棽棶 棻棻椂棸棽棿 椇 暎 摘要 压电式微质量传感器的测试精度直接依赖于结构频率对质量变化的灵敏程度 本文利用对称槽型梁和压电薄膜 棳 棳 暎 组成的对称敏感结构 提出了一种提高传感器灵敏度的结构设计方法 并设计了一种高精度谐振式微质量传感器 建立 棳 暍 暎 了结构频率变化对吸附质量敏感性的分析模型 并研究了槽型截面参数 自振频率及振动模态对灵敏度的影响 与矩形 棳 棳 棳 棳 截面结构进行了仿真与实验对比 结果表明 相同几何尺寸参数下 槽型截面悬臂梁的一阶自振频率为 棻椄椀棻斎旡矩形截 棳 棿 棷 棿 棷棳 面悬臂梁的一阶自振频率为 棻椂棻棸斎旡相应的传感器灵敏度则分别为 棾灡棻棽暳棻棸斎旡旂和 棻灡椀暳棻棸斎旡旂前者是后者的 暎 暎 棽倍 该项设计为提高微质量传感器灵敏度提供了一种新思路 椇 椈 椈 椈 关 键 词 质量传感器 槽型悬臂梁 压电薄膜 灵敏度 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斎椃棻椀棶棻斣斘棾椄棿暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棸棻棶棸棻棸棽 斈斿旙旈旑斸旑斾斸旑斸旍旙旈旙旓旀旐旈斻旘旓灢旐斸旙旙旙斿旑旙旓旘斺斸旙斿斾旓旑 旂 旟 斏灢旙旇斸斿斾斻旘旓旙旙灢旙斿斻旚旈旓旑斻斸旑旚旈旍斿旜斿旘 旔 棻灣 棻