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以化學氣相沈積法合成韌性複合材碳化矽氮化矽之研究/
Preparation of ductile composite of SiC/Si N by chemical vapor deposition
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計畫編號 ：NSC89-2214-E-011-011
執行期限 ：88/08/01-90/07/31
計畫主持人 ：台灣科技大學化工系 洪儒生 教授
一、中文摘要（關鍵詞：奈米結晶、化學 nanoparticles to form nanocrystalline ceramic
氣相沈積法 、韌性陶瓷、複合陶 materials. Emphasis is placed upon the study of
reaction kinetics so as to obtain the design policy to
瓷材） form nanostructured SiC/Si N in a multi-
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component CVD reaction system using SiH ,
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C H , and NH as the reactants. An experimental
本計畫提案以對陶瓷微結構控制 2 2 3
可行的化學氣相沈積法 (CVD) ，以共沈 method named the macrocavity method is apply to
understand the possible relation routes of the
積複合物方式來合成具有穩定的奈米
reactants to form composites. It is found that by
結構陶瓷材料 ，期能增加韌性。研究 adding a few NH ([C H ]/[SiH ]=2,
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的重點乃先對複合 CVD 系統作反應動 [NH]/[SiH ]=0.25~ 0.75) into the SiH /C H
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力的探討以獲致合成奈米微結構材料 reaction system under a condition of temperature
的方針 ，並進而對複合材性質作分 1323K, total pressure 7 torr, and SiH partial
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析。實驗上，採用矽甲烷/ 乙炔氨的複/
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