以化学气相沈积法合成韧性复合材碳化矽氮化矽之研究Preparationof.PDFVIP

以化學氣相沈積法合成韌性複合材碳化矽氮化矽之研究/ Preparation of ductile composite of SiC/Si N by chemical vapor deposition 3 4 計畫編號 ：NSC89-2214-E-011-011 執行期限 ：88/08/01-90/07/31 計畫主持人 ：台灣科技大學化工系 洪儒生 教授 一、中文摘要（關鍵詞：奈米結晶、化學 nanoparticles to form nanocrystalline ceramic 氣相沈積法 、韌性陶瓷、複合陶 materials. Emphasis is placed upon the study of reaction kinetics so as to obtain the design policy to 瓷材）