微细电火花加工机床微进给机构的分析-中国石油大学学报.PDF

2006年第3()卷 中国石油大学学报(自然科学版) V01．30NO．3 ofChina ofPetroleum Jun．2006 第3期 Journal University 文章编号：1673—5005(2006)03—0085—04 微细电火花加工机床微进给机构的分析 甘真玮，李文卓，李玉坤 (中国石油大学机电工程学院，山东东营257061) 摘要：微进给机构是微细电火花机床最重要的组成部分之一。运用直接耦合的方法，在ANSYS软件环境下，对微细 电火花机床的微伺服系统中的高频响微进给机构进行了结构的静态分析和模态分析，得到该压电微进给机构的固 有频率和振型以及在电压激励下的最大变形量，并据此设计加工出微进给机构。结果表明，所设计的微进给机构具 有很高的固有频率，可以实现高精度、高频响进给，满足了微细电火花加工的要求。采用所设计的微进给机构进行的 微细电火花加工获得了非常好的效果，加工效率大大提高，加工质量明显改善。 关键词：微细电火花加工；微进给机构；有限元分析；直接耦合场 文献标识码：A 中图分类号：7r(；661；T(；502 ofmicro-servomechanismofmicroelectronic Analysis tool m—achine dischargemachining GAN Yu—kun Zhen—wei，LIWen—zhuo，LI andElectronic inChina ((]dlegeo／、Mechanical EngineeringUniversityofPetroleum， 257061，ShandongProvince，China) Don93qng Abstract：Themicro-servomechanismisoneofthemost ofmicroelectronic importantparts dischargemachining(micro- t001．‘Fhe micro-servomechanismofmicro-EDMactivated EDM)machinehighfrequencyresponsibility bypiezoceramics was direct methodinANSYS includedstructuralstatic modal analyzedby analyses and coupled system．The analysis analy— its maximum sis，fromwhichnatural andthe deflectionwas whenitisactivatedan frequency，modeshapes gotten by ap— n]icro-servomechanismwas resultsindi