基于DSP的电子束偏转扫描控制系统的研究-机械电子工程专业论文.docxVIP

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2019-02-11 发布于上海
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基于DSP的电子束偏转扫描控制系统的研究-机械电子工程专业论文.docx

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摘摘要目目录 – – PAGE III – 万方数据 – – IV – 万方数据 ogy, electron beam deflection scanning control system was set up based on DSP, in order to improve the performance and precision of electron beam deflection scanning, and to expand the types of its scanning graphics. Then the power amplifying circuit and focusing control circuit of deflection scanning were designed and produced. Finally, the man-machine interface which based on LabVIEW were compiled, aim to make the whole system have good expansibility. Then DSP software control programs were compiled to implement deflection scanning control system’s real-time communications with upper computer, and to control electron beam to have high- speedprecise deflection scanning, so that electromagnetic deflection scanning system has the functions such as scanning with complex graphics of point, line, facial etc., as well as automatic focusing. Eventually, the data obtained by experiments verify the theoretical results. The deflection scanning system of the electron gun in electron beam bombardment furnace by combine theoretical analysis to experiment has been further researched in this paper. The research has an important guidance significance to improve the system. Key words:Electron beam; Deflection scanning; Aberration; Automatic focusing; DSP; ArbExpress; LabVIEW. 目录摘要 I Abstract II 第一章绪论 1 1.1 电子束技术概述 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.1.1 电子束加工技术 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.1.2 电子束加工技术的特点和应用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.2 电子束加工设备的构成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 1.3 课题来源及国内外发展状况 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 1.3.1 课题来源 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 1.3.2 国外电子束技术发展状况 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 1.3.3 国内电子束技术发展状况 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.4 课题研究主要内容和意义 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.4.1 研究的内容 . . .