量测系统分析（SA）.pptVIP

量測系統分析(MSA) Measurement System Analysis 一.概述: 一個製程狀況必須經由量測數据來獲得相關資訊,如果量測的結果不能符合要求,勢必會做製程調整.但實際操作中,我們可能有遇到過因數据不准确(誤差大)而調整製程參數的經歷,其后果有時是難以衡量及彌補的.因此,量測數据的品質對于製程分析的結果占有相當重要的因素,為了确保分析結果不致對製程誤判,就必須重視數据的品質.常用于表示數据品質高低的統計特性有偏差與方差,所謂偏差是指量測數据平均值與標准值之差异;所謂方差是指數据本身之間差异.如果數据品質不可接受,則必須加以改進,然而應改進量測系統本身,而非改數据.量測數据之變異由製程變異及量測系統的變異引起,即: 若能降低量測系統引起的變异﹐可使量測數据的總變异變小﹒ 二﹒名詞 1﹒量具﹕任何一可用以量測之設備﹐如千分表﹐高度規﹐耐壓測試机等﹒ 2﹒量測系統﹕由量具﹐作業者﹐SAMPLE﹐環境組成的一個集合稱之﹒ 3﹒量測系統誤差﹕總合影響量測系統的准确 性﹐穩定性﹐再現性﹐再生性及其他因素引起的變异﹐一般以標准差表示σRR﹐總變异（Total Variation) TV=6σRR 或5.15σRR (常態分配的99%為規格寬度). 三﹒量測系統變异的類型﹕ 1﹒准确度（偏性）﹕量測值与真值差异﹒量具須儀校﹐追溯標準﹒ 2﹒穩定性﹕一個量具因時間﹐環境