基于MEMS微位移传感器的纳米定位工作台研制-航空宇航制造工程专业论文.docxVIP

Classified Index：TP242.2 U.D.C.: 681.352 Dissertation for the Master Degree in Engineering. RESEARCH ON NANOMETER PRECISION POSITIONING TABLE WITH MEMS MICRO-DISPLACEMENT SENSOR Candidate： Zhao Xin Supervisor： Vice-Prof. Wang Wuyi Academic Degree Applied for： Master of Engineering Specialty： Aerospace Engineering Affiliation： School of Mechatronics Engineering Date of Defence： June, 2008 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 I I 摘 要 过去几十年中，以压电陶瓷致动的精密定位技术得到了长足的发展，已经 广泛应用到微系统、生物工程、医学等领域。本课题针对现有的微位移传感器 难于实现高集成度和小型化的缺陷，研制了一种集成电桥输出的硅基压阻式微 位移传感器，并以硅基压阻式微位移传感器为核心建立了一个精密定位系统， 为硅基压阻式微位移传感器在精密定位领域中的应用奠定了基础，也为精密定 位系统实现高集成度、小型化提供了可能。 本文首先采用整体设计的方法，建立了系统的初级模型，确定了工作台与 传感器的连接方式。然后对工作台台体进行设计分析，通过对柔性铰链静力学 建模以及应力仿真分析，确定了台体的具体尺寸结构，并总结了平行板式柔性 铰链结构的设计准则。 设计了具有高刚度、高灵敏度的十字梁式传感器结构，并对该结构进行了 数学建模、仿真分析，得到了结构的最优参数；根据 MEMS 加工工艺计算出 了压阻条的长度和宽度，根据设计目标的要求，确定了压阻条在十字梁上的具 体位置和排布方式。设计了传感器的制备工艺流程，并绘制了版图。针对传感 器输出信号小的问题，设计了专门的传感器信号采集放大电路。针对压阻式传 感器受温度影响大的问题，设计了以 MAX1457 芯片为核心的传感器温度补偿 电路。 建立了以单神经元自适应 PID 算法为基础的控制系统。通过与传统 PID 控 制算法的比较，证明了单神经元自适应 PID 算法具有更好的抗干扰能力和环境 适应能力，从而能够保证系统具有很好的控制精度。 最后，对所研制的硅基压阻式位移传感器进行了实验分析，通过对传感器 各个性能指标的测试，验证了传感器具有的高灵敏度和高精度。建立起了精密 定位系统，通过对系统稳定时间和重复定位精度的测试，证明了所设计的系统 完全满足设计目标要求。 本文在 MEMS 微位移传感器与微定位系统有机集成方面做了有益的尝 试，为精密定位系统小型化、集成化发展奠定了基础。 关键词 精密定位；柔性铰链；MEMS；单神经元 PID II II Abstract The technique of precision positioning, which is acted by the PZT, developed mainly during the past decade. It is widely applied in the fields of micro system, bio- engineering, microsurgery manipulation, and so on. The existing micro displacement sensors are difficult to control with high integration and miniaturization. Aimed that, this paper developed a Silicon piezoresistance micro displacement sensor, which had the circuit to output, and used it as the core to found a precision positioning system. It settled the base for the piezoresistive micro displacement sensor apply in the exac