X射线光电子能谱XPS课件.pptVIP

标准数据库 1. 所有元素各内壳电子的结合能 2. 同种元素在不同化合物中的结合能，及各内壳 层电子结合能差值 定量分析过程 表面分析： 获得样品表面的全扫描谱 获得各元素的高分辨谱 由高分辨谱的面积和散射因子求的各元素的原子百分比或质量百分比 深度剖析 利用离子溅射，获得不同深度处各元素的高分辨谱 由高分辨谱的面积和散射因子求的各元素的原子百分比或质量百分比 所有测试和分析都由计算机及配套软件完成 CN薄膜样品的XPS全扫描谱 分析器Pass 能量80eV, 分析器分辨率1.5eV 谱收集时间300s 扫描次数3次 C1s的高分辨率XPS谱 Pass 能量20eV 分辨率0.7eV 收集时间1200s 扫描次数10次 N1s的高分辨率XPS谱 Pass 能量20eV 分辨率0.7eV 收集时间1200s 扫描次数10次 O1s的高分辨率XPS谱 Pass 能量20eV 分辨率0.7eV 收集时间1200s 扫描次数10次 CN薄膜各组分的定量分析结果 元素 峰位（eV) 半高宽（eV) 面积 灵敏因子 原子百分比 C 1s 286.1 3.2 4683 0.25 49 N1s 399.5 3.1