基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究-精密测量物理专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□， 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华中科技 大学硕士学位论 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 MEMS 加速度计因为体积小、重量轻、功耗小、易集成、成本低等特点在近些 年得到了飞速的发展，在消费电子领域已获得了广泛应用。现阶段，以满足惯性导 航、航空航天等高端领域应用需求的高精度 MEMS 加速度计依然是研究热点。本文 旨在设计并制作基于变面积式电容传感的高精度 MEMS 加速度计表头，目标量程达 到±15g，本底噪声小于 10μg/√Hz。 本文的加速度计表头采取了常见的“三明治”结构设计，通过对传统加速度计 的传感模型以及变面积电容位移传感模型的理论分析，基于最终的研制目标，设计 获得了加速度计包括弹簧-振子结构以及电容传感阵列的主要结构尺寸。最终设计出 来的加速度计表头的机械热噪声 6ng/√Hz，量程±16g。ANSYS 静力学仿真分析以及 模态仿真分析对本征频率及量程两个主要参数进行了验证，模拟结果符合我们的理 论设计。 在此基础上，针对加速度计表头的“三明治”结构，本文对各单元的功能以及 单元上的功能层进行了设计，并给出了加工制作流程。流程总体上包含 24 个大步骤， 涉及镀膜、剥离、光刻和刻蚀等多种微加工工艺。本文重点介绍了整个流程中多次 使用的光刻和刻蚀工艺，并给出了经过多次优化后的最终的详细工艺加工流程及最 终的加工结果。 最后对我们加工出来的完整加速度计表头结合外接检测电路进行了测试，并通 过对检测结果的分析对加速度计的设计进行了改进，最终实现了加速度检测功能， 分辨率达到了设计指标。其中，根据测得的本征频率及 Q 值推知加速度计表头的等 效加速度机械热噪声小于 10ng/√Hz，满足我们本底噪声10μg/√Hz 的设计目标；加 速度检测灵敏度达到了 203mV/g，接近 228mV/g 的设计灵敏度；对本底噪声功率谱 分析表明，其在 1-200Hz 频段范围内的加速度分辨率为 6μg，达到了设计目标。 关键词：MEMS 加速度计 电容传感 光刻 ICP 刻蚀 II II Abstract MEMS accelerometers have been under rapid development in recent years for its traits such as small volumes, light weights, low power consumption, easy integration and low costs. It has been widely used in the field of consumer electronics. Up to now, the high precision MEMS accelerometer is under intensive investigations because of its potential applications in inertial navigation for airborne and aerospace tasks. This thesis aims to design and manufacture such a MEMS acceleration sensor based on area changeable capacitive displacement sensing, with a range up to ±15g and a resolution 10μg/√Hz. The acceleration sensor of this thesis takes the usual form of a sandwich structure. We start with analytically calculating