低温ITO镀膜在显示行业应用.PDF

低温 ITO镀膜在显示行业应用 应用于IPS 及On Cell 的 这就是低温 ITO 镀膜工艺的困难点。另外， Back Side ITO 镀膜工艺 低温ITO 还有颜色偏黄且透明度较低的问题。 不同Back Side ITO 镀膜位置相同，但电 随着面板技术快速发展及趋于成熟，显示产 性与光学特性要求不同，镀膜厚度相异。IPS 品必须不断提升显示效果及整合其他功能。业者 LCD 的 Shielding ITO 追求透光度，厚度约 近期比较瞩目的发展包含改善广视角色差的 IPS 16~18 奈米；On-Cell ITO 追求导电性，厚度约 工艺、集成触控功能的 In-Cell/On-Cell 面板显示 在70~150 奈米，实际厚度视规格与制程能力 模块等。 而定。 IPS LCD 强调广视角，电极采取并排陈列所 Shielding ITO On Cell ITO 以容易受到外界噪声干扰，因此需要在滤光片背 膜厚 17.48nm 140nm 后再上一层ITO 镀膜作为噪声屏障(Shielding ITO)； 面阻 450 Ω/ □ 40 Ω/ □ 而On Cell LCD 需要在滤光片背面制作ITO 线路作 穿透率@550nm 97% 95% 为触控感应线路。因为在滤光片背面，一般称作 勤友光电Back Side ITO 能力 Back Side ITO。 Back Side ITO 镀膜，工艺程序是先完成Cell、 二、电阻率的突破 化学薄化制程后，才进行ITO 镀膜，得以满足轻 低温 ITO 因结晶性质电阻率高约为 薄化的产品要求，并顾及Cell 制程中移载的便利 10-3Ω-cm 左右。勤友光电提出的解决方向是 性。但是ITO 镀膜制程必须在低温(80°C)下进行， 改变制程气体配方以及调整磁场，增加溅射 否则封装好的液晶受到压力、高温影响可能膨胀、 能量，使非晶质 ITO 结晶状态更为致密、整 溢出造成模块损坏。 齐，提升导电性。 一般业界较高水平的低温ITO 镀膜性能 偏光片 -4 Back Side ITO 为电阻率 6*10 Ω-cm 均匀性±7% ，而勤友光 LCD Cell 电低温 ITO 镀膜工艺经多年应用在国际领先 背光模块 面板厂，电阻率可达到5*10-4Ω-cm 且电阻均