并行像散共焦序列图片的物点正焦信息萃取-计量学报.PDF

第３２卷　第６期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３２，№６ ２０１１年　１１月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｎｏｖｅｍｂｅｒ，２０１１ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１１．０６．０２ 并行像散共焦序列图片的物点正焦信息萃取 刘文文，　余晓芬，　范慧敏 （合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥　２３０００９） 摘要：并行像散共焦系统是基于共焦探测原理实现微结构的三维形貌测量。采用微透镜阵列进行光束分割， 实现并行探测。引入像散原理减小光学系统中的干扰和波动对探测特性的影响。通过萃取图片序列中各个并行 物点探测曲线的“零”点，实现物点正焦位置辨识。阐述了基于序列图片萃取物点探测曲线“零”点过程中涉及的 图片序列中并行光场的定位与分割策略、差动光能统计算法的优化与实现、物点探测曲线轴向有效区域裁定及其 特性拟合等关键问题。据此开发的软件“微