基于共焦扫描的谐衍射元件轮廓提取算法研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index: TH741.8 U.D.C.: 681.7 Dissertation for the Master Degree in Engineering Researches on Profile Extraction Algorithm of Harmonic Diffractive Elements Based on Confocal Scanning Candidate： Zhang Tuo Supervisor： Prof. Liu Jian Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Instrument Science and Technology Affiliation： School of Electrical Engineering and Automation Date of Defence： June, 2014 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文 摘 要 随着现代光学系统性能的逐步提高，发展面型结构丰富的衍射光学元件已 成为研究的热点之一。传统的衍射光学元件的基底为平面或者球面，而非球面 的引入，能够有效地校正系统像差并减少光学元件的使用 数目。一些精密光学 领域中已将非球面作为衍射光学元件的基底，并且对元件的面型精度提出了很 高的要求，这为现代光学元件的面型测量提出了挑战。 本课题“基于共焦扫描的谐衍射元件轮廓提取算法研究”采用共焦扫描的 方法，针对以非球面为基底的谐衍射光学元件提出面型轮廓提取方案及其拟合 算法。主要研究工作如下： (1) 通过对非球面谐衍射光学元件面型特征的分析，提出了宏微复合的扫 描方式，其由基底轮廓扫描和台阶轮廓扫描构成。基底轮廓扫描针对谐衍射元 件的非球面基底区域，台阶轮廓扫描针对谐衍射元件的衍射台阶结构区域。 (2) 完成了谐衍射元件轮廓测量数据的零级衍射面提取工作，开展了针对 零级衍射面的轮廓滤波工作，具体采用高斯滤波的方法，其中高斯滤波函数的 步进选取与扫描区域相关。开展了零级衍射面的轮廓曲线拟合工作，具体采用 Levenberg-Marquardt 算法，通过该拟合算法可以得出零级衍射面的表达式各项 系数以及求得零级衍射面的面型残差。 (3) 对测量过程中由于测量坐标系的偏移引起的测量误差进行分析，具体 包括偏心误差及倾斜误差。通过仿真分析，发现在测量过程中，影响测量结果 较大的为 X 向偏心误差和倾斜误差，而可以忽略 Y 向偏心误差带来的影响。分 析了 X 向偏心误差和倾斜误差的校准方法，通过使被测表面的底部中心尽可能 与测量起始点重合来校正偏心误差带来的影响；通过将关于中心对称的测量数 据取平均值来校正倾斜误差的影响。 (4) 进行了相关实验，首先完成了系统共焦轴向响应特性测量实验以及单 点重复性测量实验；其次完成了利用标准球面镜的测量实验，验证了系统的曲 率测量能力；最后完成了对相关谐衍射元件的轮廓测量，求得元件的轮廓参数 及面型残差，验证了方案的可行性。 关键词：共焦扫描；谐衍射元件；轮廓提取；测量软件 -I- ABSTRACT With the improvement of the performance of modern optical system, it has become one of research hot spot that developing diffractive optical element with complex structure. The basement of traditional diffraction optical element is planar or spherical. It can correct the spherical aberration and reduce the number of optical elements by introducing aspheric optical elements. The aspheric surface has become the basement of some diffraction optical elements with high surface figure in ultra-precision optical engineering. It is a great challenge for the surface measurement of modern op