金属薄膜厚度小于电子自由程对其光反射率的影响.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ４０ ２ 　 　 　 Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．２ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１１ ２ Ｆｅｂｒｕａｒ２０１１ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１１０２０２６３４ 金属薄膜厚度小于电子自由程对其光反射率的影响 １ １ １ ２ ２ 林育琼 ，冯仕猛 ，王坤霞 ，顾俊 ，刘少军 （ 上海交通大学 物理系，上海 ） １ ２００２４０ （ 上海神舟新能源发展有限公司，上海 ） ２ ２０１１１２ 摘 要：提出了金属薄膜厚度对薄膜中自由电子的平均自由程影响的物理模型，并给出了薄膜中自 　 由电子的平均自由程的修正公式 理论研究表明：当膜厚小于自由电子的平均自由程时，薄膜中电 ． 子平均自由程随膜厚的减小而减小；当膜厚大于或等于自由电子的平均自由程时，薄膜中电子的平 均自由程与块状材料一样 利用薄膜中电子平均自由程的计算公式，修正了薄膜导电率的基本理论 ． 表达式，再利用金属薄膜的反射率与薄膜导电率的关系，得出金属薄膜厚度对其光反射率的影响． 计算机模拟表明：当薄膜厚度小于电子 自由程时，金属薄膜反射率随薄膜厚度变化而呈非线性 关系． 关键词：金属薄膜；反射率；平均自由程；电导率 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＧＩ１３．２２＋４ Ｏ４８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０２６３ 　　　 　　　 ｇ ０ 引言 统研究膜厚对电导率的影响，进而给出金属薄膜反 　 射率与厚度的关系，对研究金属薄膜的反射率是有 金属薄膜作为一种中性反射膜，一般都具有较 意义的． 大的消光系数，当光束由空气入射到金属表面时，进 １ 金属薄膜中电子的自由程修正（薄 入金属内部的光振幅迅速衰减，使得进入金属内部 　 的光能相应减少，而反射光能增加 消光系数越大， 膜厚度与自由程修正） ． 光振幅衰减越迅速，进入金属内部的光能越少，反射 金属电阻率的大小是由金属中自由电子的平均 　　 率越高． 自由程的长短来决定的 因此，金属中自由电子的平 ． 早期研究中，把金属薄膜当成为块状材