基于法线追迹原理的新型高精度面形检测系统-上海应用物理研究所.PDF

第40 卷 第9 期 核 技 术 Vol.40, No.9 2017 年9 月 NUCLEAR TECHNIQUES September 2017 基于法线追迹原理的新型高精度面形检测系统 1,2,3 1 1 彭川黔 何玉梅 王 劼 1 （中国科学院上海应用物理研究所嘉定园区 上海 201800 ） 2 （中国科学院大学 北京 100049 ）