能量色散X射线荧光光谱仪研究现状.PDFVIP

第36 卷 第10 期 核 技 术 Vol. 36, No.10 2013 年10 月 NUCLEAR TECHNIQUES October 2013 能量色散 X 射线荧光光谱仪研究现状 赵奉奎 王爱民 （东南大学仪器科学与工程学院 南京 210096 ） 摘要 归纳了能量色散X 射线荧光(EDXRF)光谱仪的主要部件及能谱处理算法的研究进展及现状，通过分别 对比不同类型高压电源、X 射线激发源和探测器在光谱仪上的使用，总结了X 射线激发电压、X 射线强度和 探测器分辨率等对仪器灵敏度和分辨率等指标的影响。通过分别对比不同算法在能谱去噪、本底扣除、谱峰 分解及荧光强度提取等方面的应用，分析了各种算法的适用范围，并比较了小波变换、人工神经网络和偏最 小二乘法等在能谱分析中的独特优势。阐述了为提高仪器性能亟待解决的问题，并指出了EDXRF 仪器的发展 趋势及进一步研究该课题的必要性。