高质量玻璃微孔电化学放电加工模型及试验-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 椃 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶椃 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 椃 暋 暋 暋暋斒旛旍棶棽棸棻椄 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸椃灢棻椂椀棾灢棸椄 高质量玻璃微孔电化学放电加工模型及试验 灣 棳 棳 棳 刘 勇 魏志远 邓世辉 李松松 暋 棬 棳 棭 山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心 山东威海棽椂棿棽棸椆 椇 棳 暍 棳 暍 摘要 超白玻璃是一种超透明低铁玻璃 因其具有优越的物理 光学性能 而广泛应用于精密电子 高档汽车及太阳能光 暎 棳 棳 棳 伏发电领域 由于其本身的硬脆特性 玻璃微孔的出口极易破损 为提高玻璃微孔的加工定域性 降低微孔出口破损的 棳 暎 棳 棳 可能性 对微细电化学放电钻削加工工艺进行了研究与优化 首先 根据电化学放电原理 探讨了气膜的形成和材料去 棳 棳 椈 棳 除机理 分析了放电能量对玻璃微孔加工工艺的影响 建立了单位时间电化学放电加工能量控制模型 其次 试验分析了 暍 暍 暍 椈 棳 电压幅值 占空比 脉冲频率 进给速度等主要参数对微孔入口直径和出口质量的影响 最后 通过优化后的加工参数在 棳 暍 棳 厚度为 的超白玻璃试件上 成功加工得到入口直径为 出口直径为 的 微孔阵列结构 出口 棾棸棸 旐 棻椃棽 旐 棻椂椃 旐 棾暳棾 毺 毺 毺 暎 棳 暎 无破损现象 实验结果表明 基于脉冲能量控制的微细电化学放电钻削工艺在玻璃微孔加工方面很有潜力 椇 椈 椈 椈 关 键 词 电化学放电加工 超白玻璃 微孔 放电能量 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斨棽椂棻棶椀斣斍椂椂棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椄棽椂棸椃棶棻椂椀棾 斉旍斿斻旚旘旓斻旇斿旐旈斻斸旍斾旈旙斻旇斸旘斿旐斸斻旇旈旑旈旑 旓旀旍斸旙旙旐旈斻旘旓灢旇旓旍斿旙旝旈旚旇旇旈旇灢旛斸旍旈旚 旂 旂 旂 旂 旕 旟 灣