扫描探针显微镜PM、SEM、AFM.pptVIP

扫描探针显微镜SPMSPM-9500J3 简介-历史 STM---1992年，IBM的苏黎世实验室中由Binnig和Rohrer发明。（1986年诺贝尔物理奖奖） AFM---1986年，斯坦福大学由Binnig, Quate和Gerber等人发明 SPM---LFM(摩擦力显微镜)，SVM(粘弹性显微镜)，MFM(磁力显微镜)，EFM(静电力显微镜)，CFM(化学力显微镜) 简介-分类 SPM(Scanning Probe Microscopy) STM(Scanning Tunneling Microscopy) SFM(Scanning Force Microscopy) AFM(Atomic Force Microscopy) LFM(Lateral Force Microscopy) MFM(Magnetic Force Microscopy) EFM(electric Force Microscopy) CFM(Chemical Force Microscopy) SPM仪器构造 STM 振动隔绝系统 机械设计-隧道针尖与样品间的隧道电流# 计算机控制系统 AFM 振动隔绝系统 机械设计-力传感器与微悬臂的检测# 计算机控制系统 振动隔绝系统 两种类型扰动 振动---重复性和周期性 冲击---瞬态变化 适用方法 提高仪器固有频率 使用震动阻尼 常用减震系统 合成橡胶冲垫-降低大幅冲击，共振频率10~100Hz 弹簧悬挂-共振频率小~0.5Hz 磁性涡流阻尼-体系质量和自然频率相对底时，涡流阻尼系数r=9.69x10-9BLS/p 气动弹簧减震台-0.5Hz 振动隔绝系统 仪器噪音源 散粒噪音 负载电阻的Johnson噪音 激光相对强度噪音 激光相位噪音 悬臂的热噪音 振动隔绝系统 一般以100Hz区分高/低频振动 0-1kHz频带内的激震影响，高频段影响甚微 机械设计 三维扫描控制器 扫描针尖 三维扫描控制器 针尖与样品位置粗调 爬行方式-利用静电力，机械力或磁力的夹紧并配合压电陶瓷的膨胀和伸缩，真空中 机械调节方式-单个或多个高精度差分调节螺杆配合减速原理，可手动或步进电机，大气环境中适用 螺杆与簧片结合方式-高精度调节螺杆顶住差分弹簧或簧片系统来调节，低温条件下 三维扫描控制器 微调定位（压电陶瓷材料） 三角架型，早期使用 单管扫描器 十字架配合单管型，可以在一定程度上补偿热漂移的影响 三维扫描控制器 悬臂与针尖（力传感器） STM针尖 铂铱合金针尖，圆锥型 AFM悬臂与针尖（力传感器） Si3N4金字塔型针尖 长方形或V型悬臂 力传感器要求 低的力弹性常数 高的力学共振频率 高的横向刚性 短的悬臂长度 传感器带有镜面或电极（光学或隧道电流检测） 尽可能尖锐的针尖 悬臂与针尖（力传感器） 悬臂与针尖（力传感器） 悬臂与针尖（力传感器） 悬臂与针尖（力传感器） 扫描方式 STM 恒电流模式 恒高度模式 I~Vbexp(-AΦ1/2S) I-隧道电流 Vb-针尖和样品间的偏置电压 A-常数 Φ~ ?(Φ 1+Φ2) Φ1, Φ2分别为针尖和样品的功函数 S-针尖和样品之间的距离 STM扫描方式 扫描方式 AFM 接触式(contact mode)，1~10nm(斥力)，10-8~10-11N 非接触式(noncontact mode)，5~20nm（范德华力） 轻敲式(tapping mode)，20nm，10-9~10-12N 悬臂检测方式 隧道电流 电容法 光束反射法 扫描方式 AFM扫描方式 AFM微悬臂的光束反射法探测 SPM探测参数及水平分辨率 SPM9500-J3主要参数 TiO2-Pt DynamicMode TiO2-Pt DynamicMode TiO2-Pt DynamicMode TiO2-Pt DynamicMode AlN AlN AlN AlN 高分子膜 高分子膜 NH4Cl枝晶 NH4Cl枝晶 NH4Cl枝晶 NH4Cl枝晶 牙齿 牙齿 MFM * * * * *