一种基于大范围扫描离子电导显微镜的形貌和体积测量方法-电子学报.PDF

第５期 电　　子　　学　　报 Ｖｏｌ．４５　Ｎｏ．５ ２０１７年５月 ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａｙ　２０１７ 一种基于大范围扫描离子电导显微镜的 形貌和体积测量方法 郭仁飞，庄　健，于德弘 （西安交通大学机械工程学院，陕西西安７１００４９） 　　摘　要：　针对现有测量方法不能同时实现大尺寸样品表面的总体和局部形貌的三维高分辨率测量以及体积计 算的不足，提出了一种形貌和体积测量方法．本文首先构建了大范围扫描离子电导显微镜（ＬａｒｇｅｓｃａｌｅＳｃａｎｎｉｎｇＩｏｎ ＣｏｎｄｕｃｔａｎｃｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ＬＳＩＣＭ）系统，并利用数据拼接技术来扩展现有ＳＩＣＭ系统的水平测量范围，从而实现样品形 貌的大范围三维高分辨率测量，最后结合背景移除等数字图像处理技术来计算目标对象的体积．对亚毫米级样品的实 验结果表明，基于ＬＳＩＣＭ的测量方法可以有效完成大尺寸样品的总体和局部形貌的三维高分辨率测量及体积计算， 且避免由光学测量方法引入的非线性误差．另外，采用更小的水平扫描步距（１２５ｎｍ）可以减小５．８２％的体积测量误 差和３８．１２％的测量标准差，从而提高了系统测量的准确性和稳定性． 关键词：　形貌和体积测量；扫描离子电导显微镜；大范围；数据拼接 中图分类号：　Ｐ２０４；ＴＨ７４２　　　文献标识码：　Ａ　　　文章编号：　０３７２２１１２（２０１７）０５１０７２０６ 电子学报ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｊｏｕｒｎａｌ．ｏｒｇ．ｃｎ　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．０３７２２１１２．２０１７．０５．００７ ＴｏｐｏｇｒａｐｈｙａｎｄＶｏｌｕｍｅＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＭｅｔｈｏｄＢａｓｅｄｏｎ ＬａｒｇｅｓｃａｌｅＳｃａｎｎｉｎｇＩｏｎＣｏｎｄｕｃｔａｎｃｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ＧＵＯＲｅｎｆｅｉ，ＺＨＵＡＮＧＪｉａｎ，ＹＵＤｅｈｏｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｘｉ＇ａｎＪｉａｏｔｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉ’ａｎ，Ｓｈａａｎｘｉ７１００４９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：　Ａｔｏｐｏｇｒａｐｈｙａｎｄｖｏｌｕｍｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｔｏｄｅａｌｗｉｔｈｔｈｅｄｒａｗｂａｃｋｓｏｆｅｘｉｓｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｓ ｔｈａｔｔｈｅｙｃａｎｎｏｔｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓｌｙｆｉｎｉｓｈｍｅａｓｕｒｉｎｇｔｈｅｇｌｏｂａｌａｎｄｌｏｃａｌｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｆｌａｒｇｅｓｃａｌｅｓａｍｐｌｅｓｕｒｆａｃｅａｎｄｖｏｌｕｍｅ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｉｎａｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ（３Ｄ）ａｎｄｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｗａｙ．Ｔｈｅｌａｒｇｅｓｃａｌｅｓｃａｎｎｉｎｇｉｏｎｃｏｎｄｕｃｔａｎｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（Ｌ ＳＩＣＭ）ｓｙｓｔｅｍｗａｓｆｉｒｓｔｌｙｂｕｉｌｔａｎｄｔｈｅｄａｔａｓｔｉｔｃｈｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｗａｓｕｓｅｄｔｏｅｘｔｅｎｄｔｈｅｌａｔｅｒａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒａｎｇｅｏｆｔｈｅｅｘ ｉｓｔｉｎｇＳＩＣＭｓｙｓｔｅｍ，ｔｈｕｓｔｈｅｌａｒｇｅｓｃａｌｅ，３Ｄａｎｄｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｏｆｔｈｅｓａｍｐｌｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｃａｎｂｅｏｂ ｔａｉｎｅｄ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ｄｉｇｉｔａｌｉｍａｇｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｓｕｃｈａｓｓｕｂｔｒａｃｔｉｎｇｂａｃｋｇｒｏｕｎｄｗｅｒｅｕｔｉｌｉｚｅｄｔｏａｃｃｕｒａｔｅｌｙｃａｌｃｕｌａｔｅｔｈｅ ｖｏｌｕｍｅｏｆｔｈｅｔａｒｇｅｔｏｂｊｅｃｔ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｏｎｓｕｂｍｍｌｅｖｅｌｓａｍｐｌ