CO2气体反应磁控溅射制备Ti-O薄膜成分和结构研究-ResearchGate.PDFVIP

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2019-02-26 发布于天津
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See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/287029739 On study of composition and structure of Ti-O ﬁlm prepared by reactive magnetron sputtering using CO2 Article in Gongneng Cailiao/Journal of Functional Materials · October 2014 DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.20.028 CITATIONS READS 0 9 5 authors, including: F. Wen Dong Xie Hainan University Southwest Jiaotong University 44 PUBLICATIONS 151 CITATIONS 33 PUBLICATIONS 216 CITATIONS SEE PROFILE SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: (NSF View project Self-adaptive tribocoatings in extreme environments View project All content following this page was uploaded by F. Wen on 10 July 2017. The user has requested enhancement of the downloaded file. 李娇等: 气体反应磁控溅射制备薄膜成分和结构研究　 CO2 Ti-O 16001 文章编号: ( ) 1001-9731201420-20001-04 CO2气体反应磁控溅射制备Ti-O薄膜成分和结构研究∗ , , 12 12 3 1 1 , , , , 李娇文峰谢东潘长江丁红燕　　　 ( , ; 1.淮阴工学院