双腔串联两阀与三阀压电泵的性能研究-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ２ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ２ Ｆｅｂ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０２０２１９０５ 　 双腔串联两阀与三阀压电泵的性能研究 ， １ １２ １ １ １ 杨志刚 ，孙晓锋 ，张德君 ，程光明 ，李欣欣 （ 吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 ； １． １３００２５ ２．吉林化工学院 机电工程系，吉林 吉林 １３２０２２） 摘要：研究了双腔串联两阀压电泵与三阀压电泵的输出性能，分析了这两种泵的结构和工作原理，理论分析得出：三阀泵 输出性能优于两阀泵。设计制作了两阀泵与三阀泵实验样机，并通过实验测试证明了理论分析的正确性。分别对两阀 泵和三阀泵进口腔和出口腔独立工作时流量输出进行了实验测试，并把进口腔和出口腔独立工作时输出流量相加之和， 与两腔一起交叉工作时进行了比较。实验测试表明：两阀泵和三阀泵样机在 ２００Ｖ交流驱动电压下，最大输出流量分别 为 ／ 和 ／ ，最大输出压力分别为 和 ，最大自吸高度分别为 和 水柱高。 ９７２ｍｌｍｉｎ １０３５ｍｌｍｉｎ ２８．７ｋＰａ ４０ｋＰａ ０．４１ｍ ０．４３ｍ 关 键 词：压电振子；双腔压电泵；阀 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ３８ＴＮ３８４ Ａ 　　 犘犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲狉犲狊犲犪狉犮犺狅狀犱狅狌犫犾犲狏犪犾狏犲犱犪狀犱狋犺狉犲犲狏犪犾狏犲犱 犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮 狌犿 狊狑犻狋犺犱狅狌犫犾犲狊犲狉犻犲狊狑狅狌狀犱犮犺犪犿犫犲狉狊 狆 狆 狆 ， １ １２ １ １ １ ， ， ， ， ＹＡＮＧＺｈｉａｎ ＳＵＮＸｉａｏｆｅｎ ＺＨＡＮＧＤｅｕｎ ＣＨＥＮＧＧｕａｎｍｉｎ ＬＩＸｉｎｘｉｎ ｇ ｇ ｇ ｊ ｇ ｇ （ ， ， １．犆狅犾犾犲犲狅 犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犑犻犾犻狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋