扫描隧道显微镜STM的研究及其针尖制备.doc

STM研究及其针尖制备——陈新科 07300300044 PAGE 7 - 扫描隧道显微镜STM的研究及其针尖制备 陈新科(07300300044 材料物理) 实验指导老师：姚红英 摘要：本文详细推导了隧道效应原理，介绍了STM仪器及工作模式以及STM实验所需的针尖制备原理，另外对三种方法所制得的针尖给出综合比较。 关键词：扫描隧道显微镜STM 薄膜电化学腐蚀 钨丝针尖制备 正文： 背景： 1982年，IBM的G. Binning 和H. Rohrer发明了扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope，STM），能够获得样品表面原子级信息.G. Binnig, H. Rohrer, C. Gerber, and E. Weibel Phys. Rev. Lett., vol. 49, p. 57,1980. .G. Binnig, H. Rohrer, C. Gerber, and E. Weibel Phys. Rev. Lett., vol. 49, p. 57,1980. STM实验原理： （1）隧道效应 图1.一维方势垒 如在上图1.一维方势垒中，一束具有能量E的粒子处于方势垒V0左侧并由左向右运动。若对粒子经典处理下： 而对其在量子处理下： ，为粒子波函数 ，为粒子波函数 （1）式 （2）式 由（1）式得到： （3）式 对（2）式和（3）式作如下处理： （4）式 （5）式 所以，解得粒子波函数如下： （6）式 其中，为入射或透射波，为反射波，同时考虑到xa处无反射波，故B3=0。此外，和在=0和=处连续，所以由（6）式得到下式： （7）式 故而得到： （8）式 定义透射系数T和反射系数R如下： （9）式 j为粒子流密度，jT，jR和jI分别表示透射、反射和总粒子流密度。 设为粒子密度，p为粒子动量，m为粒子质量，v为粒子速度，则： （10）式 且 （11）式 所以 （12）式 P为粒子束概率波出现于空间某点的概率，J为概率流密度。 所以，由（8）式~（12）式，考虑到（4）式和（5）式，得到透射系数T和反射系数R如下： （13）式 由能量守恒定律可知， （14）式 所以透射系数T为： （15）式 由上式可知： （16）式 图2.能量为E的粒子束发生隧道效应越过方势垒 由此，粒子束能够透入比它本身能量高的势垒，这种现象称之为隧道效应（Tunnel Effect）。 下面对（15）式进行讨论，当 （17）式 则 （18）式 则透射系数T近似为： （19）式 由（19）式可知，透射系数和电子能量与势垒宽度有关，且成指数关系，故T对a和E极其敏感。电子具有波动性，其位置不定，弥散于空间，形成电子云，集中分布在导体表面，在导体表面之外的空间某点也存在发现电子的概率，但其大小随该点与导体表面距离的增大而成指数衰减。利用此原理，如前文所述，1982年，IBM的G. Binning 和H. Rohrer发明了扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope，STM）。 （2）隧道电流 在此STM实验中，样品表面与针尖的距离非常接近，电子云互相交叠，在针尖和样品之间施加一偏置电压Vb，则针尖处的电子，通过隧道效应到达样品表面形成隧道电流I，其大小为： （20）式 式中为针尖到样品表面距离，=为针尖与样品的平均功函数，为针尖与样品间偏置电压，为Plank常数。 3.STM实验仪器及其操作 STM计算机软件处理系统STM电子学系统STM针尖系统STM仪器种类较多，形态各异，但究其本质，以物理楼338实验室提供的easyScan扫描隧道显微镜（如图3）为例，STM由针尖系统，电子学系统以及计算机三部分组成。 STM计算机软件处理系统 STM电子学系统 STM针尖系统 图3.STM实验装置 针尖系统——由针尖、样品架、样品、防震装置、进针系统及扫描器等组成，完成样品表面信号的扫描采集并输出至电子学系统。 电子学系统——完成信号反馈处理，传输数据至计算机供实验员操作。 计算机软件——数据处理，显示样品表面形貌，可人工调整各参数。完成自动进针。 设备各参数如下： 扫描范围和分辨率：X-Y最大扫描范围：0.5um Z方向最大范围：200nm XY平面分辨率：0.015nm Ｚ方向分辨率：0.003nm 间隙电压：10V（步长5mV） 设置参考电流：100nA（步长25pA）