镀铝机结构及功原理1.pptVIP

镀铝机结构及功能原理 ——蒋友华 一、镀铝机： 是在真空条件下，利用电子束加热待蒸材料，使之气化蒸发后凝结在晶片表面上成膜的设备。 其原理是： 由电子枪产生的电子束在电场的作用下获得功能打 在晶片上，当加速电压足够高时，所产生的热能使 膜材加热气化。 根据电子束轨迹，电子枪可分为直射式或偏转式，偏转式电子枪又可分为环形、L型和E型，目前主要是E型电子枪。 二、蒸发用电子枪工作原理： 三、电子束的产生： 1.熱电子发生（ther mionic assion）： 当高熔点金属被加热高温度时，其表面电子之动能大于束缚能而逸出。当发射电流较大时，其电流密度受正负极间的距离d及电压v的控制而依循如下方程式： J＝βV 3/2/d2其中β是常数等于2.335*10-6AMP/(单位面积）。 2）电子束的加速： 由于电子带有电荷，所以可以施加电场加速，所以电子束拥有的功能为1/2mev2＝eV ，me为电子质量，一般V为5kv到15kv，假设V为10kv，则电子速度可达6*104km/sec（6万公里/秒），高速电子撞击在膜材料上转换成热能，温度可达几千度（总能量为w＝nev。n为电子密度）而把膜材料蒸发成气体。 优点： 1是正离子的偏转方向与电子偏转方向相反，因此可避免直射枪中正离子对铝层的