测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易试验.pdf

第 卷 第 期 物 理 实 验 ｌ．３４ Ｎｏ．７ ３４ ７ Ｖｏ 　 　 　 　 　 　　 　　　　　　　 　　　 　　 年 月 ＰＨ ， ＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ 　 　 Ｊｕｌ． ０ ０１４ ７ １４ ２ ２ 　 　 　 　 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易实验 ， ａ ａ ａｂ ｂ ｂ ， ， ， ， 高建 亮 王 海花 谢 东 冷永祥 黄 楠 　 　 （ ； 西南交通大学 物理科学与技术学院 ａ． 材料先进技术教 ， ） ． 育部重点实验室 四川 成都 ００３１ ｂ ６１ ： ， 法 将待检测的薄膜沉积在一定 摘 要 基于悬臂梁振动和纯弯曲理论 提出测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易实验方 ． 　 　 　 ， ， 尺寸的金属片上作为试样 外力驱动试样作悬臂梁一阶弯曲受迫振动 通过光学显微镜观察其表面的薄膜是否开裂或剥 ， ， 落 确定薄膜的疲劳寿命 理论计算获得应力分布 以 为基体材料研究了 薄膜的疲劳特性