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精密高负载线性平台-PhysikInstrumente
精密高负载线性平台
高循环数,价格便宜
M-414
使用精密元件
灵活的模块化系统M-403、M-404、M-
413 、M-414
行程从100 毫米至300毫米
分辨率达0.023微米
滚珠丝杠可实现高速和高循环次数
最小位移0.1微米
应用领域
测量技术,对准。
06.02.2019
规格
M-414.1PD M-414.1DG
M-414.2PD M-414.2DG 单位 公差
M-414.3PD M-414.3DG
带ActiveDrive 的 带直流齿轮电机
主动轴 X X
运动和定位
行程 100 / 200 / 300 100 / 200 / 300 毫米
集成传感器 旋转编码器 旋转编码器
传感器分辨率 4000 2000 步/圈
设计分辨率 0.5 0.023 微米 典型值
最小位移 0.5 0.1 微米 典型值
空回 0.5 4 微米 典型值
单向重复精度 0.5 1 微米 典型值
(1) 典型值超过1
螺距/偏转角 100 100 微弧度
00毫米
速
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