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精密高负载线性平台-PhysikInstrumente

精密高负载线性平台 高循环数,价格便宜 M-414  使用精密元件  灵活的模块化系统M-403、M-404、M- 413 、M-414  行程从100 毫米至300毫米  分辨率达0.023微米  滚珠丝杠可实现高速和高循环次数  最小位移0.1微米 应用领域 测量技术,对准。 06.02.2019 规格 M-414.1PD M-414.1DG M-414.2PD M-414.2DG 单位 公差 M-414.3PD M-414.3DG 带ActiveDrive 的 带直流齿轮电机 主动轴 X X 运动和定位 行程 100 / 200 / 300 100 / 200 / 300 毫米 集成传感器 旋转编码器 旋转编码器 传感器分辨率 4000 2000 步/圈 设计分辨率 0.5 0.023 微米 典型值 最小位移 0.5 0.1 微米 典型值 空回 0.5 4 微米 典型值 单向重复精度 0.5 1 微米 典型值 (1) 典型值超过1 螺距/偏转角 100 100 微弧度 00毫米 速

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