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- 2019-05-08 发布于江苏
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Journal of Mechanical Strength 2005 ,27 4 :465～469
偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析
EFFECTS OF BIAS VOLTAGE POLARITY ON RELIABLE OPERATION
CONDITIONS OF DIFFERENTIAL CAPACITIVE ACCELEROMETER
WITH VOLTAGE FEEDBACK
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