终结耗能锅炉-高温热泵於纯水系统应用.PDF

終結耗能鍋爐-高溫熱泵於純水系統應用 陳彥欣1 陳俊吉2 周文朕3 1 台灣積體電路製造股份有限公司F3E 廠 chenyhzm@ 2 台灣積體電路製造股份有限公司F3E 廠 chenjcf@ 3 台灣積體電路製造股份有限公司F3E 廠 wcchou@ 摘要 升鍋爐效率或使用替代方案為當務之急 。 經文獻指出[1] ，即熱式高溫熱泵相較於其他 近年來能源成本高漲，化石燃料耗用量增加， 鍋爐，在製熱能源成本上，可節省60~80% ；若採 溫室效應加劇，導致地球氣候極端化，也讓 CO2 用水對水機型，加上冷能的效益，可節約能源成本 排放議題更受重視，且石化能源每單位 CO2 釋出 85~92% (如表 1 所示) ，即熱式高溫熱泵效率高， 量為電能3 倍以上，如降低工廠瓦斯用量將能大幅 整機 COP 可高達4.0 以上，具有節能、省電、環 節省能源消耗及降低 CO2 排放，而廠務系統中鍋 保、安全特點 ，主機不採燃燒製熱，無空氣污染之 爐為瓦斯使用量最高之設備，故提升鍋爐效率或使 虞，綜合以上特性，本廠研擬新增即熱式高溫熱泵 用替代方案為當務之急。熱泵技術經逐年演進，在 系統，取代純水系統加熱所需的鍋爐瓦斯，以降低 製熱能源成本上相較於鍋爐可節省60~80% ，但一 運轉成本 ，以下介紹熱泵基本原理及特性 。 般傳統熱泵出水溫度約50~60℃，無法滿足製程用 水升溫需求，台積3E 廠率先導入即熱高溫熱泵技 術，出水溫度可達 80℃，並利用廠內既有設備進 行修改，逐步取代純水系統中的樹脂再生加熱需求 及製程機台的熱 DI 水升溫所需的鍋爐熱水，至 2015 年達到完全取代鍋爐熱水，減少鍋爐瓦斯用 量48% ，相當於每年減少1,270 噸的CO2 排放量。 本文即分享此專案從資料收集、評估討論、設計規 劃等過程彙整，希望能提供其他廠區先進作一運轉 之參考。 關鍵字：熱泵、DI 、鍋爐、瓦斯。 圖1 台積F3E 瓦斯用量分布圖 1. Introduction 表 1 即熱式高溫熱泵效能比較表 1.1 台積F3E 鍋爐瓦斯用量說明 台積 F3E 鍋爐系統每年使用天然瓦斯費用 約為NT$ 27 M/Yr ，約佔全廠瓦斯用量62% (如圖 1 所示) 。其中純水系統 Hot DI (HDI)與再生加熱使 用天然瓦斯1,850 Nm3/day ，約佔鍋爐天然瓦斯總 用量之 48% ，以每度(Nm3)天然瓦斯 19 元計算， 費用約 NT$ 35,150 元/ day ，即每年約花費NT$ 13M 的瓦斯費用於純水系統上，耗費驚人，故提 1.2 熱泵原理說明 熱泵系統是利用卡諾循環原理，將能量由低能 熱庫 壓縮機 階(低熱焓)往高能階(高熱焓)搬送 ，不是製熱的設 備，而是搬能的設備，故使用上須有低能階熱源的 供應。一旦低能階能源經熱泵進行能源的搬送後， 蒸 冷 將使得能階低(熱焓更低，即低溫)的能源，再次獲 得使用。系統的耗能即為搬動能量所需作的功，並 發 冷媒循環 凝 器 器 無傳統加熱設備的能源消耗(如圖2 所示) 。 冷庫 膨脹閥