一种以SU8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作.PDFVIP

44 11 上 海 交 通 大 学 学 报 V ol. 44 N o . 11 20 10 11 JO U RN A L OF SH A N GH AI JIA O T O NG U N IV ERSIT Y N ov . 20 10 :( 2010 SU8 芦 琦, 陈 翔, 肖丽君, 陈 迪 ( , 200240 : 根据微流量传感器测热式原理, 利用Com sol 多 理场模拟仿真软件, 对微流量传感器进 行模拟仿真, 分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响. 在此基础上, 设计了一种集成在微 流体管道内的微流量传感器. 以离子束刻蚀方法制作微电极, SU8 负光刻胶直接制作流道, 将该负 光刻胶与聚二甲基硅氧烷( PDM S 进行键合封装. 最后, 对该微流量传感器进行了流速测试. :