织构对TiN薄膜弹性常数的影响-中国科技论文在线.PDF

中国科技论文在线 第 卷第 期 湘 潭 大 学 自 然 科 学 学 报 7U 7 ()127U #)27 年 月 7$ U #+.A1 V=-B=- W).AB1 )? FB*+B GBH-A/+ W.B- 7$ 织构对!# 薄膜弹性常数的影响! 杨玉娥， 向福元， 郑学军， 周益春 （湘潭大学材料与光电物理学院，湖南湘潭 ） $%%%’